南通晟辉微电子科技有限公司
等离子去浆机采用多项噪音控制设计,营造更舒适的生产环境。设备的真空泵是主要噪音源,通过配备隔音罩与消音器,将真空泵的噪音从80分贝...
OLED显示面板的基板(如玻璃基板、柔性PI基板)在光刻工艺后,需使用等离子去胶机去除残留光刻胶,以保证后续有机发光层、电极层的沉...
针对芯片中不同材料的分层结构,设备可通过选择特定反应气体,只刻蚀目标材料而不损伤其他层。例如刻蚀硅氧化层时,对硅基层的选择性可达1...
空系统是等离子刻蚀机的“呼吸***”,其性能直接决定等离子体稳定性与刻蚀均匀性。刻蚀过程需在高真空环境(通常为10⁻³~10⁻¹P...
随着精密制造技术的升级,等离子去胶机的应用场景已突破传统微电子领域,在新能源、量子器件等新兴领域展现出独特价值。在固态电池制造中,...