16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定：在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规...

4.1.1洁净厂房位置的选择，应根据下列要求的经技术经济比较后确定：1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好...

15.1.1承担洁净室施工的单位应按本规范的相关规定，建立质量管理体系。15.1.2洁净室的各级施工人员应有必要的洁净室施工经历，...

3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振...

15.1.1承担洁净室施工的单位应按本规范的相关规定，建立质量管理体系。15.1.2洁净室的各级施工人员应有必要的洁净室施工经历，...