4.1.1洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。2应远...

15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设...

在单向流洁净室中，洁净气流不是一股或几股，而是充满整个房间截面，所以这种洁净室不依靠洁净气流对室内脏空气的混合稀释作用，而是依靠在...

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净...

洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋...