四探针测试技术,是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上,由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I,然后测量出中间两根探针之间的电压V,就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W(远小于长和宽)的薄半导体片,得到电阻率为ρ=ηW(V/I),式中η是修正系数。特别,对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片,得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm],其中W用cm作单位。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台能够捕捉到宇宙中不同能量和波长的辐射线,并运用档次高技术解析这些信息。浙江真空温控探针台哪家好
高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台,它的诸多设计都是专门使用的。因此,高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如,要求的磁场值,均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等,均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联;位移台还可与磁流体密封搭配,实现水平方向二维移动和样品台360度转动;除此之外,该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户,可以磁场的高稳定性。因此,该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。江苏12寸探针台定制探针台的技术需要不断推陈出新。
滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养,相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。
它是如何工作的?探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上,该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。机械手放置在平台的平面上,并在机械手中插入探针臂和先进。探头先进必须适合要执行的测试程序。然后,用户通过调整相应的操纵器将探针先进精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触;现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆,在测试一个器件后,可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。探针台的建设需要克服很多技术难题。
探针台(Prober station)又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台主要应用于半导体行业以及光电行业得研发,生产制造,失效分析等,是对晶圆(Wafer)上得器件进行电特性测试或故障分析而使用得精密机台,通过探针台能很好得帮助工程技术人员实现微小位置得电学参数测试。探针台是人类智慧的结晶和太空探索的桥梁。河北探针台厂家供应
探针台的建设需要全球头脑的智慧和力量。浙江真空温控探针台哪家好
根据探针测试需要,XY 精密工作台的技术要 求为:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重复 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在结构 设计时,为达到上述精密控制要求选用伺服电机 驱动,全闭环运动控制;整个工作台需要放置于真 空腔体内,结构紧凑合理的工作台结构可以有效 地减小真空腔体设计尺寸,XY 工作台结构采用 丝杠、交叉滚子导轨组合形式。其中Y 向丝杠采 用偏置方式;X 向丝杠采用对称方式。对于电机、丝杠、导轨等外购件,选型号时,需 要考虑温度、湿度、腐蚀性等特种环境下运行情 况,要求在高真空状态下材料不能逸出空气,外购 件内部、外部不能有挥发性油脂。如果没有合适的 型号满足上述要求,需要对相应外购件加装特制 密封罩。浙江真空温控探针台哪家好