**减少了加热器的使用寿命和工艺稳定性。技术实现要素:本实用新型目的是提供一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,结构简单,操作方便,修磨效果好,效率高,解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的,达到上述的技术要求,本实用新型所采用的技术方案是:一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,其特征在于:从下至上依次设置有安装支架、旋转装置、加热器支撑圆盘、研磨盘,晶圆加热器设置在加热器支撑圆盘和研磨盘之间;研磨盘包括研磨盘主体,研磨盘主体底部设置有研磨块、调节支撑圆柱,研磨盘主体通过调节螺栓与研磨块相连接固定,调节螺栓的上端设置有数显深度测量指示表;所述的安装支架包括安装支撑柱,安装支撑柱上端设置有安装平板,安装支撑柱下端设置有高度调节块,安装平板上设置有安装主体,安装主体内部设置有台阶孔,装有旋转电机的固定座下部与台阶孔相配合固定,旋转电机的上表面设置有连接圆盘,连接圆盘上端设置有支撑圆盘本体,支撑圆盘本体上端通过螺丝固定有圆环;所述的调节支撑圆柱与圆环相连接。推荐的:所述的高度调节块与安装支撑柱之间设置为螺纹连接。陶瓷加热板可以消解土壤、淤泥、矿泥等。浙江PA6010-PCC10A加热板

本发明的第二个实施例:和***实施例相比之下,第二实施例的特点是在中心点o处增加了封闭的热环5。实际如图5所示,所有加热片中心的自由端与封闭的热环5固定连接;对于热环5的形状可以是椭圆形构造,为了确保电阻阻值的一致,加热片需固定到椭圆形热环5轴对称位置。但是,如果所述热环5的形状是圆形,则热环5只需等间距分布即可。进一步地,所述加热片的数目是两组,包括:***加热片6和第二加热片7;所述***加热片6的***迂回端61和第二加热片7的第二迂回端71彼此纵横组成曲折的留置区8。所述中心点o设有热环5且热环5与两组加热片连通的自由端分别通过***电极91和第二电极92的与电源连接。固定到环形或圆形的热环5的加热片不仅可以安定加热片的间距,同时还可以限制加热板的总体构造,不会让局部变形影响总体;进而化解了疑问一;而总体的环形热环5可以不需要在加热板中心安装电源,可以保证加热板中心的热源温度平稳,同时结合实际推行例一,也可以化解技术疑问二和技术疑问三。PA10005-CC-PCC10A加热板说明书每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。

加热板搅拌器加热搅拌器加热板&搅拌器附件出色的性能与智能技术令人印象深刻的高性能、高安全性和操作简便性,使您能够轻松找到比较符合您实验室要求的加热设备。我们***的加热板、搅拌器、加热搅拌器以及相关附件可以完全满足任何实验室需求。广受欢迎的加热板和搅拌器高级加热搅拌器实验室加热板和搅拌器专题目录实验室加热板我们均匀加热的加热板能够提供多种获得可重现结果的能力,包括温度稳定性、耐用性以及远程控制访问的能力,以实现安全性和便捷性。搅拌器我们的搅拌器产品组合在大多数应用中可达到2400rpm的转速,且在严苛的细胞培养应用中保证可靠性、安全性和运行性能,将根据您的全部实验室需求为您提供解决方案。加热搅拌器从**基本的搅拌设计到适合危险应用的防爆型加热搅拌器,我们的加热搅拌器可以提供精细的控制和可重复性,满足您的各种应用需求。加热板与搅拌器附件我们***的搅拌器控制设备和附件能够补充您的加热板和搅拌器,帮助确保您获得正确装备以快速设置好您的搅拌器。
本发明具如下有益于效用:通过将轴对称改成中心对称、将ω形状的加热板中心改成单独分体或封闭环形的构造,以及合理配置留置区和电压位置的安装,化解了传统加热板的构造的缺点,提高了采用的稳定性,增加了加热板的寿命。附图说明图1为传统加热片的构造示意图;图2为传统加热片的一种损坏方法;图3为传统加热片的另一个损坏方法;图4为本发明的一种加热板构造;图5为本发明的另一种加热板构造。图中,o中心点、1热弧板、2半圆形热片、21拐点、22空隙、3左电极、4右电极、5热环、6***加热片、60***热弧片、61***迂回端、7第二加热片、70第二热弧片、71第二迂回端、8留置区、91***电极、92第二电极。实际实施方法下面结合附图和实际实施例对本发明作更进一步详尽解释。为了化解现有技术存在的三个技术疑问,本发明提供一种加热板,包括,数目为偶数的若干组加热片。在实际使用中,偶数组加热片需将加热片分为两组,每组并联着分别联接到电源的两极。一般,还可以将加热片的数目设成4组或6组等,虽然分组越多,越易于致使加热的不平稳,但是对于需加热的较大面积,可以通过多组加热片实现延长加热片的寿命。所有加热片均为中心对称布置。晶圆加热盘一般是用于承载、加热晶圆的圆盘,所以也有人称它为晶圆加热器。

第四加热区域、第五加热区域、第六加热区域和第七加热区域设置于第二加热区域和第三加热区域外圆周;每个加热区域上均设置有若干弧形凹槽,且每个加热区域内的弧形凹槽均与相邻的弧形凹槽连接,使每个加热区域内的弧形凹槽形成串联;每个加热区域内均设置有一根加热丝,加热丝嵌于弧形凹槽内;底板与加热盘扣合;若干垫柱设置于加热盘上。其中,加热盘上还设有限位柱,限位柱用于限定晶圆在加热盘上的位置。其中,底板上均设置有温度传感器。其中,底板上设置有过温保护器。其中,垫柱为peek材料,高度为。其中,加热器外圆周上还套设有隔热环。三、本发明的有益效果与现有技术相比,本发明的晶圆加热器具通过七个加热区域,且每个加热区域为**加热单元的设计,使整个加热盘能够均匀的发热,达到了对晶圆均匀加热的效果,通过隔热环的设计,有效的加热区域内的热量过快的散发,提高了保温效果,同时隔热环还可以有效的避免烫伤周围人员,提高了安全性能。附图说明图1为本发明的晶圆加热器的图;图2为本发明的晶圆加热器的背面结构示意图;图3为本发明的晶圆加热器的正面结构示意图;图4为本发明的晶圆加热器的加热盘的背面结构示意图;图中:1为加热盘;2为底板;3为垫柱。在高温下加热器周围形成油脂或石灰石,从而降低热导率、缩短加热器的寿命、增大耗电率。PA4015加热板价格
信号调理模块根据电压值的大小反比例调节高频机的功率输出。浙江PA6010-PCC10A加热板
受国际形势的影响,国内很难再从国外进口氮化铝陶瓷加热盘,导致国内对氮化铝陶瓷加热盘的需求变得紧张起来。氮化铝陶瓷加热盘被应用于半导体行业中,常见的加热盘一般是8英寸的,国内对氮化铝陶瓷加热盘需求紧张,但是国内能加工氮化铝陶瓷加热盘的厂家却很少。导致这种情况的原因主要是由于氮化铝陶瓷加热盘的加工难度很高,那么为什么氮化铝陶瓷加热盘加工难呢?下面就由钧杰东家为您解答。氮化铝陶瓷加热盘-钧杰陶瓷首先,我们需要了解一下氮化铝陶瓷是什么:陶瓷行业的行家都知道,氮化铝陶瓷是一直具有高导热性能和电绝缘性能的先进陶瓷材料,被广泛应用于电子工业。氮化铝晶体属于六方晶系,它以四面体为结构单元共价键化合物,乃纤锌矿型结构。同时它也是一种耐高温的陶瓷材料,它的单晶体导热率是氧化铝的5倍左右,并且可以在2200℃的环境中使用,具有良好的耐热冲击性能。 浙江PA6010-PCC10A加热板
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