为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 本所物料的干燥周期,每隔一段时间观察一下,历力表,温度表,和箱体内的变化,来处理。丽水噪音小真空烘箱规格尺寸
真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它的工作原理是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率,热量利用充分,主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒处理,干燥过程中不得有任何杂物混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会损坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。温州进口数显真空烘箱调试调整尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内。
从保温效果来讲,聚氨酯的耐温与绝热效果要好于纤维棉,一般聚氨酯可以使箱体内的高温在大几个小时内保持稳定,值得一提的是,聚氨酯的高效绝热性能,可有效地防止箱体外温度过高烫伤操作员。纤维棉材质的干燥箱在高温时,只能靠温度控制器不停的控制与调节,保持箱内温度的稳定,这样增加了风机与控制器的工作强度,从而降低了干燥箱的使用寿命。再从后期维护来讲,由于聚氨酯是整个注塑到箱体内的,后期维修时特别繁琐,维修前需要将聚氨酯全部掏出来,修好后再注塑进去。而纤维棉不会这么麻烦,操作简单。从市场上讲,纤维棉的价格非常便宜,且可满足大部分的保温要求,运用广,杭州宏誉智能科技建议:纤维棉越细,厚度越大,保温质量越好。干燥箱的密封一般都是采用抗老化的硅橡胶,密封效果很好。
烘箱在电子行业的应用:组件,预热,烘烤,干燥,热分解,固化,退火,回流焊接。数据存储:对录音磁头以及铝制和玻璃磁盘介质磁头以及铝制和玻璃磁盘介质。光纤:黏合剂粘合与固化,Telcordia测试与预烧。半导体组装/圆片级包装:密封剂、BCB,CMOS光学和底胶固化传感器处理,芯片黏着和BGA,B阶黏着剂固化,稳定性测试,配向膜烘烤,预烧和测试,热冲击。半导体前端:磁性退火,圆片级预烧,金属薄膜退火,配向膜烘烤,光阻固化,稳定性测试。加热功率比例可任意调节,革除低端控温无温度弊端。
真空烘箱的真空泵-维护保养1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。4、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。台州防止氧化真空烘箱定制
利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。丽水噪音小真空烘箱规格尺寸
真空烘箱可供科研、院校、工矿、化工等单位实验室以及生产现场,在真空状态下对物品进行干燥和热处理等。设备利用真空泵进行抽湿。使工作室内形成真空状态有效降低水分沸点温度。加快干燥速度、避免物品加热过程中导致氧化和损坏,避免尘埃破坏。
工作室采用质量不锈钢板。钢化双层玻璃视窗,工作室内产品一目了然;箱门闭合松紧可调,整体成型硅橡密封圈,确保向内高真空度;微电脑智能控温仪,设定、测定温度;双数字显示和PID自整定功能,控温精确;加热功率比例可任意调节;真空泵采用内置泵体,噪音小易维护。 丽水噪音小真空烘箱规格尺寸