为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 真空泵内置泵体,噪音小易维护。江苏快速干燥真空烘箱定制
光电元件干燥箱系列是按LED光电元件生产工艺要求制作。也适用于其他电力、电子元器件的老化、固化等烘干工艺。该干燥箱的温度范围、工作室的尺寸和隔层高度、气流的走向以及控制形式、精度都大限度地满足了LED光电元件及相关行业的需求。材料及特点:控温仪表:产品采用综合的电磁兼容设计和人性化的菜单设计,采用了公司自主研发的自适应控温技术进行温度控制,使得设备操作完全傻瓜化,解决了以往PID控制技术需要多次参数整定,温度过冲等弊病,控温效果好。双屏高亮度宽视窗数字显示,示值清晰、直观。微电脑智能控制,设定温度后,仪表自行控制加热功率,并显示加热状态,控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能,定时时间长达9999分钟。具有因停电,死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆,来电恢复功能。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特,极大减少了内腔热量的外传。箱体内部结构:置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出,经过干燥物后再被背部的高性能风机吸入,形成合理的风道,能使热空气充分对流,使箱内温度大限度达到均匀。台州快速干燥真空烘箱调试调整箱门可调节式松紧闭合。
互感器生产工艺流程:包扎→二次线圈绕制→二次线圈检测→一次线圈绕制→装模→真空浇注→加热固化→脱模→试验。其中:真空浇注:装入模具内的互感器半成品加热干燥达到工艺要求后,送入互感器用环氧真空浇注设备内,将配置好的环氧混合材料采用真空浇注的方式注入模具内,进行真空脱气处理,达到工艺要求的真空度后,破空取出模具送入电加热烘箱加热固化。脱模:电加热烘箱内的环氧混合料(环氧树脂和硅微粉),在模具内经过加热固化成形后,将模具从烘箱内取出,打开模具,取出互感器产品。真空烘箱真空度≤133Pa,可有效进行真空脱处理,完成真空浇注工艺
本实用新型的一种新型的真空烘箱,其创新点在于:包括箱体、盖板、底板、侧板、连接装置、进水管、出水管和导流管;所述箱体与所述盖板相匹配,且二者之间螺接形成一水平设置的中空长方体结构;在所述箱体的内底面还水平螺接设有底板,且在所述底板的上表面左右两端还竖直对称固定设有侧板;在两个所述侧板之间还呈矩阵依次间隔设有数个导流管,每一所述导流管均为水平设置的中空圆柱体结构,且其两端分别水平延伸出两个所述侧板;上下相邻两个所述导流管的两端之间分别错位通过连接装置密封连接,并形成数个竖直设置的蜿蜒状结构;在上面一层所述导流管的上方还水平间隔设有数个进水管,每一所述进水管均为中空的l形圆管结构,且其短边一端均竖直向上延伸出所述盖板,每一所述进水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板,并分别通过连接装置与上面一层对应位置所述导流管的一端密封连接;在下面一层所述导流管的下方还水平间隔设有数个出水管,每一所述出水管均为中空的l形圆管结构,且其短边一端均竖直向下延伸出所述箱体,每一所述出水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板,并分别通过连接装置与下面一层对应位置所述导流管的一端密封连接。本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会损坏。
充氮洁净烘箱是一种新型可造就洁净的恒温环境的电热干燥箱,可满足电子、医疗卫生仪器、仪表,工厂,高等院校、科研部门等有关单位作净化烘箱的需要。充氮洁净烘箱采用不锈钢工作室,不锈钢管作加热,内胆周身做密闭氩弧焊接,保证箱体内部洁净度高,箱内充以氮气等惰性气体有效防止产品氧化,有助于保证产品质量!充氮洁净烘箱采用精确的控温系统-数显温控系统。安装在箱体的顶部。其特点具有读数清晰、调节方便、控温精度高、结构简单、安全可靠之优点。充氮洁净烘箱采用水平送风强鼓风循环系统,特殊风道设计,使箱内温度均匀,确保了温度的稳定性。充氮洁净烘箱拥有完善的安全保护措施,超温报警、欠相缺相保护、过电流保护、快速熔断器、接地保护等系统,该功能充分保护实验人员的安全! 双层钢化玻璃观察窗,工作状态一目了然。舟山真空烘箱调试调整
干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开真空干燥箱箱门,取出物料。江苏快速干燥真空烘箱定制
真空烘箱可供科研、院校、工矿、化工等单位实验室以及生产现场,在真空状态下对物品进行干燥和热处理等。设备利用真空泵进行抽湿。使工作室内形成真空状态有效降低水分沸点温度。加快干燥速度、避免物品加热过程中导致氧化和损坏,避免尘埃破坏。
工作室采用质量不锈钢板。钢化双层玻璃视窗,工作室内产品一目了然;箱门闭合松紧可调,整体成型硅橡密封圈,确保向内高真空度;微电脑智能控温仪,设定、测定温度;双数字显示和PID自整定功能,控温精确;加热功率比例可任意调节;真空泵采用内置泵体,噪音小易维护。 江苏快速干燥真空烘箱定制