分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵的前级压强:真空泵的前级压强 单位是Pa,它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。油封式旋片真空泵代理公司
吸气剂离子泵它有如下几种型式。蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵按其真空度可以分为:粗真空、高真空、超高真空三大类。无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品,是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置,实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料,便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放,所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。旋片式机械真空泵供货报价真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。(2)油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。(3)扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为"高"真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种,若不要求很低的压力时,可用水泵,如果水泵的构造好且水压又高,抽空效率可达1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的比较低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如,水温25℃、20℃、10℃时,水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时,应在水泵前装上安全瓶,以防水压下降,水流倒吸;停止抽气前,应先放气,然后关水泵。
真空泵油的抗乳化性:真空泵在运转过程中,系统内的水分与冷气领会排入泵油中, 假如真空泵油的抗乳化性不好,它将与混入的水构成乳化液,使水不易从循环油箱的底部放出,从而可能形成真空度降落和光滑不良。因而抗乳化性是工业光滑油的一项很重要的理化性能。特别在医药、食品、陶瓷等工业运用真空枯燥过程中,泵油的抗乳化性能更至关重要。抗乳化性好的泵油油水别离才能强,水蒸汽和冷凝气体经过开启气镇阀,会排出局部水蒸汽。另外,低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。真空泵主动轴通过联轴器与电机联接。
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。前级泵为水环泵,为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨真空泵的油箱,罗茨泵额水环泵之间必须安装止回阀。双极真空泵哪家好
真空泵油具较底的蒸汽压,防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。油封式旋片真空泵代理公司
旋片式真空泵具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内比较大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。油封式旋片真空泵代理公司