各种类真空泵的区别:螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、光伏,化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。旋片式真空泵的特点是:抽速快,体积小,重量轻,噪声低,维修方便,极限真空度高等优点。按国际限真空均为6×10-2Pa(即5×10-4Torr,注:Torr=133.32Pa)。罗茨真空泵的特点是:启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高,对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体。 滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。是抽除一般性气体或含有少量可凝性蒸汽的气体抽气设备之一。金属油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸汽射流抽气的真空泵,是获得高真空的主要设备,较多用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟实验和对油污染不敏感的一些真空系统中。水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,水环泵也可用作压缩机,是属于低压的压缩机。 能为客户赚钱的干式真空泵。螺杆真空泵哪家好
分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。旋片型真空泵报价化工干燥,德迈克干泵显身手,无油真空,保障物料纯净。
水真空环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点:水真空环泵结构简单,制造精度要求不高,容易加工。另外它结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。而且压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。
如何正确地组合真空泵?由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来,达到所需的真空度。
这种气冷式罗茨泵可用于高压差和高压缩比的情况下工作,这种泵的结构简单,冷却器与泵的出口相联,便于维修和更换。由于散热均匀,转子和泵体之间的间隙仍可保持很小,有利于泵容积效率的提高。真空泵油的密封性:真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。真空泵油的饱和蒸汽压:饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。单级油旋片真空泵代理费用
真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油,分矿物油和合成油两种。螺杆真空泵哪家好
随着技术的发展,真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种真空泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。螺杆真空泵哪家好