扫描电子显微镜组成部分：电子光学系统组成：电子头、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。信号收集和显示系统：信号收集：二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器（波谱仪和能谱仪）显示系统：显示屏有两个，一个用于观察，一个用于记录照相。真空系统：组成：机械泵、扩散泵。作用：保证电子光学系统正常工作，提供高真空度，防止样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。电源系统：包括启动的各种电源，检测-放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。电子显微镜电子源能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。海南台扫电子显微镜
透射电镜的较终成像结果，显现在观察室内的荧光屏上，观察室处于投影镜下，空间较大，开有1～3个铅玻璃窗，可供操作者从外部观察分析用。对铅玻璃的要求是既有良好的透光特性，又能阻断X线散射和其他有害射线的逸出，还要能可靠地耐受极高的压力差以隔离真空。由于电子束的成像波长太短，不能被人的眼睛直接观察，电镜中采用了涂有荧光物质的荧光屏板把接收到的电子影像转换成可见光的影像。观察者需要在荧光屏上对电子显微影像进行选区和聚焦等调整与观察分析，这要求荧光屏的发光效率高，光谱和余辉适当，分辨力好。多采用能发黄绿色光的硫化锌-镉类荧光粉做为涂布材料，直径约在15～20cm。海南台扫电子显微镜透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构。
扫面电镜成像，主要是根据接受器接受电子撞击物体产生的二次电子信号，然后通过特定算法算出来的，其算出来的图像。下面贴一张电子发射头和周围两个接收的图片：由于二次电子的产生量，跟样品表面的起伏度有关，所以二次电子的立体感比较好。与此类似的还有散射电子信号，散射电子的产生量，跟样品原子序数有关，所以根据检测散射电子信号算出来的图像其材料对比度更见清晰，能看出来观测物体由几种元素组成。这些都是能形成我们能直观看到的图像的。
电子显微镜是根据电子光学原理，用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。近年来，电镜的研究和制造有了很大的发展：一方面，电镜的分辨率不断提高，透射电镜的点分辨率达到了0.2-0.3nm，晶格分辨率已经达到0.1nm左右，通过电镜，人们已经能直接观察到原子像；另一方面，除透射电镜外，还发展了多种电镜，如扫描电镜、分析电镜等。电子显微镜的分辨本领虽已远胜于光学显微镜，但电子显微镜因需在真空条件下工作，所以很难观察活的生物，而且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。扫描电子显微镜具有景深大、图像立体感强、分辨率高、图像范围大以及样品制备过程比较简单等优点。
扫描电子显微镜样品制备简单，只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理，就可直接放到扫描电镜中进行观察，因而更接近于物质的自然状态。可以通过电子学方法有效地控制和改善图像质量，如亮度及反差自动保持，试样倾斜角度校正，图象旋转，或通过Y调制改善图象反差的宽容度，以及图象各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图象选择器，可在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。可进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散X射线谱仪(EDX)，使具有电子探针的功能，也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式，显示出了扫描电镜的多功能。电子显微镜分辨率与透过样品的电子束入射锥角和波长有关。海南台扫电子显微镜
电子透镜用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中较重要的部件。海南台扫电子显微镜
扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它普遍应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中，把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描，把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同，行扫描的速度比帧扫描的速度快，对于1000条线的扫描图象来说，速度比为1000。海南台扫电子显微镜
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