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贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统

来源: 发布时间:2022年09月19日

SEM是什么?先放一张图SEM(扫描电子显微镜)的图片,实验室的真家伙我还没见过,不过看样子应该不算太便宜,以后应该也不让随变搞,到时候再说,反正我肯定要玩儿它几次才行,一看就比显微镜高级,说来惭愧,显微镜还没玩儿几次呢。这个东西跟显微镜有相似的地方,就是可以用来观察物理细节,成像。但是显微镜由于使用的是自然光,由于可见自然光的波长问题,光学显微镜的使用是有局限的,放大倍数有极限,也就是分辨率有物理极限【大于200nm】,没法突破,观察到的细节的东西就那样,学过大物的应该还记得光栅,当间隙小到小于光波的振幅的时候,光就抖不过去了,这个跟那个意思差不多。但是电子显微镜,用到的不是自然,而是用的电子,电子才多大,所以放大倍数比光学显微镜也就高那么十万倍。当然电子束也是有波长的,但是随着电压的升高,电子束速度越快,波长也就越短。扫描电镜景深长,所获得的图像立体感强,可用来观察生物样品的各种形貌特征。贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统

电子束与样品作用,当内层电子被击出后,外层电子掉入原子内层电子轨道而放出X光,不同原子序,不同能阶电子所产生的X光各不相同,称为特征X光,分析特征X光,可分析样品元素成份。分析特征X光的方式,可分析特征X光的能量分布,称为EDS,或分析特征X光的波长,称为WDS。X光能谱的分辨率,在EDS中约有100~200eV的分辨率,在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小。贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统电子显微镜电子光学系统主要有电子、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件。

扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于样品表面上电子束的直径。放大倍数是显像管上扫描幅度与样品上扫描幅度之比,可从几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电子显微镜不需要很薄的样品;图像有很强的立体感;能利用电子束与物质相互作用而产生的次级电子、吸收电子和X射线等信息分析物质成分。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

早期电镜中曾采用过机械式消像散器,利用手动机械装置来调整电磁透镜周围的小磁铁组成的消像散器,来改变透镜磁场分布的缺陷。但由于调整的精确性和使用的方便性均难令人满意,这种方式已被淘汰。消像散器由围绕光轴对称环状均匀分布的8个小电磁线圈构成,用以消除(或减小)电磁透镜因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4个互相垂直的线圈为1组,在任一直径方向上的2个线圈产生的磁场方向相反,用2组控制电路来分别调节这2组线圈中的直流电流的大小和方向,即能产生1个强度和方向可变的合成磁场,以补偿透镜中所原有的不均匀磁场缺陷,以达到消除或降低轴上像散的效果。电子显微镜是使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。

电子显微镜电子源是一个释放自由电子的阴极,栅极,一个环状加速电子的阳极构成的。阴极和阳极之间的电压差必须非常高,一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束,所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。样品可以稳定地放在样品架上,此外往往还有可以用来改变样品(如移动、转动、加热、降温、拉长等)的装置。探测器用来收集电子的信号或次级信号。真空装置用以保障显微镜内的真空状态,这样电子在其路径上不会被吸收或偏向,由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接。电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。电子显微镜电子源阴极和阳极之间的电压差必须非常高,一般在数千伏到3百万伏特之间。贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统

扫描式电子显微镜不需要很薄的样品,图像有很强的立体感。贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统

电子透镜用来聚焦电子,是电子显微镜镜筒中较重要的部件。一般使用的是磁透镜,有时也有使用静电透镜的。它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦,其作用与光学显微镜中的光学透镜(凸透镜)使光束聚焦的作用是一样的,所以称为电子透镜。光学透镜的焦点是固定的,而电子透镜的焦点可以被调节,因此电子显微镜不像光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。现代电子显微镜大多采用电磁透镜,由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。贵州台式扫描电子显微镜电子显微镜系统

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