随着科技的飞速发展,半导体行业已经成为现代电子设备不可或缺的重要部分。在这个领域,精密制造技术的进步对于提高产品性能和降低成本具有至关重要的作用。其中,飞秒激光切割机作为一种先进的精密加工技术,正逐渐在半导体行业中发挥着越来越重要的作用。在半导体晶片制造过程中,飞秒激光切割机被广泛应用于晶圆的切割和成型。由于半导体晶片的尺寸非常小,且对精度和表面质量的要求极高,传统的切割方法往往难以满足这些要求。而飞秒激光切割技术具有高精度、高效率、无接触等优点,能够实现晶圆的快速、准确切割,提高生产效率和产品质量。微电子器件是现代电子设备的重要组成部分,其制造过程中需要对各种微小的电路和元件进行精确加工。飞秒激光切割机可以用于制造各种微电子器件,如集成电路、微电机等。这些器件需要高精度的切割和焊接,而飞秒激光切割技术能够实现这些要求,提高生产效率和产品质量。飞秒激光是指时域脉冲宽度在飞秒(10-15秒)量级的激光,在时间分辨率上属于超快激光(ultra-fast laser)。北京韩国技术飞秒激光掩模板

与传统激光加工方法相比,飞秒激光加工具有以下优点:高精度:飞秒激光器能够产生极短的脉冲,使得加工过程中的能量传输更加精确,因此可以实现非常精细的切割线条和小尺寸的孔径。低热影响:由于飞秒激光脉冲的极短时间尺度,加工过程中的热影响区域极小,几乎可以忽略不计。这样就可以避免氮化硅等材料发生热应力导致的裂纹或变形问题,保证加工质量。高加工效率:飞秒激光器的高能量密度使得加工速度相对较快,可以在短时间内完成复杂的切割和打孔任务。这提高了生产效率并降低了加工成本。适用性广:飞秒激光加工技术不仅适用于氮化硅,还可以用于其他高硬度、脆性或热敏感的材料,如玻璃、陶瓷和聚合物等。无需后加工:由于飞秒激光加工过程中几乎没有产生热影响区域,因此通常不需要进行额外的表面处理或后加工步骤,从而节省了时间和成本。北京韩国加工飞秒激光超细孔超快飞秒激光切割机适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、等材料微细精密加工,切割无变形、精度高。

激光打孔工艺可分为长脉冲(ms级)和短脉冲(ns、ps、fs级)激光工艺,注意脉冲宽度是个时间单位,不是长度单位,其中ps皮秒激光和fs飞秒激光也被行业内叫做超快激光。两种工艺相比各有优缺点,同样是气化材料加工小孔,前者因为其单个脉冲照射时间更长,能提供更多能量快速去除材料,相当于大刀阔斧效率高;后者能量细小峰值功率高,可瞬间气化微量材料,素有冷加工的美誉,相当于小刀精啄,几乎没有重熔层,表面质量更好,专业一点讲就是超快激光由于脉冲持续时间远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间,只需考虑电子吸收入射光子的激发和储能过程,加上高达TW(10^12W)级的峰值功率,能量在只有几个纳米厚度内迅速聚集,瞬间产生的超高电子温度值远超材料汽化温度,材料直接从固态转为气态,在表面形成高密度、超热、高压的等离子体状态,实现非热熔性加工。
飞秒激光技术在3C产业中的应用。飞秒激光作为超短脉冲激光的典型,具有超短脉宽、超高峰值功率的特点,其加工对象广,尤其适合加工蓝宝石、玻璃、陶瓷等脆性材料和热敏性材料,因此适合于电子产业微细加工行业应用。主要原因是从去年开始的指纹识别模组在手机上的应用带动了飞秒激光设备的采购。指纹模组涉及到激光加工的环节有:①晶圆划片、②芯片切割、③盖板切割、④FPC软板外形切割钻孔、⑤激光打标等。其中主要是蓝宝石/玻璃盖板和IC芯片的加工。苹果6从2015年开始正式使用指纹识别同时带动了一批国产品牌的普及,目前指纹识别渗透率不足50%,因此用于加工指纹识别模组的激光机仍有较大发展空间。同时,激光机还可以应用于PCB钻孔、晶圆划片切割等,应用领域在不断拓宽。尤其是随着未来手机中蓝宝石和陶瓷等高附加值脆性材料的应用,激光加工设备将成为3C自动化设备中重要的组成部分。我们认为在3C自动化加工设备领域,飞秒激光未来或将扮演重要而深刻的角色。飞秒激光加工的脉冲宽度为飞秒级别,1飞秒为1秒的10的负十五次方,是通常意义的一千万亿分之一秒。

飞秒激光切割机利用超短脉冲激光束对材料进行精确切割。这种激光束具有极高的能量密度,能够在极短的时间内将材料熔化或蒸发,从而实现切割。与传统的切割方法相比,飞秒激光切割具有无接触、无变形、无热影响区等优点,能够保证电子设备的精度和质量。在电子设备制造中,飞秒激光切割机的应用非常广。例如,在手机制造中,飞秒激光切割机可以用于切割屏幕、电池等部件。这些部件需要极高的精度和稳定性,而飞秒激光切割技术能够满足这些要求。此外,飞秒激光切割机还可以用于制造电路板、太阳能电池板等电子元器件。这些元器件需要高精度的切割和焊接,而飞秒激光切割技术能够实现这些要求,提高生产效率和产品质量。飞秒激光钻孔尤其擅长加工Ø0.2以下的微孔。广东超精密飞秒激光打孔
飞秒激光切割可针对柔性PET、PI材料或玻璃、硅片基材上的镀层刻蚀、划线、切割,不伤及基材。北京韩国技术飞秒激光掩模板
我们正在使用飞秒激光生产超精密钻孔产品。可对PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼等各种材质的产品进行细孔加工。在工业工件中,有些形状是没有激光就很难实现的。但是,一般激光加工企业的加工质量大多被激光形状加工所占据,精度不高,公差为±0.1mm。这是因为激光产业主要是以切割为主。另一方面,我们也从事非常精密的激光成型,我们制造和供应具有精确公差和质量的激光成型产品。比如:用于半导体加工真空板电影真空板用于倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板对于薄膜芯片粘接工具等。北京韩国技术飞秒激光掩模板