北京超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光技术新材料与新工艺的开拓突破：成功应用于传统激光难以加工的超硬、超脆、高反、高导材料，如金刚石、蓝宝石、碳化硅、石墨烯、透明导电薄膜等。应用案例：宽禁带半导体：SiC、GaN的晶圆隐形切割与表面结构化。医疗植入体：在钛合金、可降解镁合金表面制造促进骨结合的微纳结构。新能源：锂电池极片的极耳切割（无毛刺、无热影响，防止短路）、薄膜太阳能电池的图案化。智能化与在线监控突破：集成机器视觉、人工智能算法和等离子体发光/声波在线监测，实现加工过程的实时反馈与自适应控制。意义：确保了大规模生产中加工结果的一致性和高良率，是走向智能化制造的标志。飞秒激光新技术应用刚刚兴起，主要应用行业包括： 半导体产业、太阳能产业(特别是薄膜技术)、平面显示业等。北京超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光是一种以 “飞秒” 为脉冲宽度（1飞秒=10⁻¹⁵秒，即千万亿分之一秒）的超快、强脉冲激光。使其在精密加工、科研等领域带来了主要的突破。这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一，太赫兹波产生与探测：飞秒激光是产生和探测太赫兹波的主要泵浦源，用于无损检测、安全成像、物质光谱分析等。精密测量：基于飞秒光频梳技术（另一项诺贝尔奖成果），可以用于距离测量、光学时钟、光谱定标等，精度达到纳米甚至更高。文物保护与修复：可以极其精细地除去艺术品表面的污染物层，而不损伤下层宝贵的原始材料。北京超精密飞秒激光薄膜芯片飞秒激光加工不需要工具、加工速度快、表面变形小，可加工各种材料。

基于“冷加工”特性，飞秒激光展现出以下强大优势：1. 极高的加工精度与分辨率可以突破光学衍射极限，实现亚微米甚至纳米级的加工精度。加工边缘极其光滑、无毛刺，侧壁垂直度好。应用：用于切割蓝宝石、超硬材料，雕刻微纳结构，制作光子晶体、光波导等。2. 极小的热影响区对加工点周围的材料几乎无热损伤，没有微裂纹、熔渣和热应力。这对于脆性材料（玻璃、陶瓷、半导体）、热敏感材料（如聚合物薄膜）的加工至关重要。应用：眼科手术（LASIK）、透明材料内部三维雕刻、太阳能电池板划线、微电子器件的精细修复。3.材料普适性由于依靠多光子非线性吸收，其加工不依赖于材料的线性吸收特性。可以对任何材料进行加工，包括透明材料（如玻璃内部）、高反射材料（金、铜）、超硬材料（金刚石）等，而这些材料用传统激光很难甚至无法处理。应用：在钻石上打微孔、在心脏支架上切割复杂图案、对透明导电膜进行图案化。

精密制造——工业升级的“光刻刀”，飞秒激光是解决传统激光无法完成的“疑难杂症”的方案。 透明材料加工（“内部雕刻术”）：应用：在智能手机的蓝宝石盖板、摄像头保护镜片上刻蚀标识；在汽车玻璃内部雕刻防伪码或装饰图案；制备微流控芯片；制造光纤光栅、光子晶体等光学元件。原理：透明材料对飞秒激光波长是“透明”的，但极高的峰值功率使得激光焦点处的材料通过非线性吸收瞬间改性或汽化，从而实现内部选择性加工，表面毫发无损。飞秒激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度，靠光热效应来加工的。

这是飞秒激光所有优势的根源。我们可以与传统激光（如纳秒激光）进行对比：传统激光（长脉冲）：脉冲时间长，能量是缓慢地、持续地注入材料。这会导致：热扩散：能量有足够时间向周围区域传导，产生大范围的热影响区。热效应：导致材料熔化、飞溅、产生微裂纹和热应力。精度低：加工边缘不整齐，精度受限。飞秒激光（超短脉冲）：能量在极短时间内（飞秒级）瞬间注入到一个极小的空间点。能量沉积速度>>能量扩散速度：在热量还没来得及向周围传递之前，加工过程就已经结束了。多光子吸收/非线性吸收：极高的峰值功率足以使材料中的电子通过非线性过程直接吸收多个光子，瞬间被激发或电离，绕过“熔化”阶段。直接“汽化”或“等离子体化”：材料直接被“蒸发”移除，几乎没有液态相产生。结果就是：热影响区极小甚至没有，实现了真正意义上的“冷加工”或“超精密冷烧蚀”。适用于在各类金属、非金属、高温合金、复合材料等多种材料上进行盲孔/异型孔等结构的可控锥度精细加工。北京超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光加工在蓝宝石加工、曲面玻璃和陶瓷生产等领域展现出全新的应用前景。北京超精密飞秒激光薄膜芯片

传统激光加工就像用喷火切割冰块：边缘会融化，形状模糊，周围一滩水。飞秒激光加工就像用极其锋利的超高速手术刀瞬间切除：切口平整光滑，冰块其他部分保持原样，几乎看不到任何融化痕迹。主要应用领域一览工业制造：精密钻孔、切割、表面结构化、微纳器件制造。眼科屈光手术（全飞秒SMILE）、精细外科手术、牙科加工、设备制造。科学研究：超快光谱学、阿秒物理、粒子加速、实验室天体物理。信息技术：光子集成电路制造、数据存储。消费电子：手机摄像头蓝宝石保护镜片切割、OLED显示屏修复。总而言之，飞秒激光的优势是其“时间尺度”上的特性在“空间尺度”上的完美体现。它将激光加工从“热时代”带入了“冷时代”，开启了超精密、超材料、超维度制造的新纪元。北京超精密飞秒激光薄膜芯片