浙江非接触式传感器应用案例

而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点。浙江非接触式传感器应用案例

公司基于创新的技术开发了两个系列的产品：从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析，到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程，及实验室研究场合的高精度设备，我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业（可应用行业范围：玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等）企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体，如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等，我们的光谱共焦传感器都可轻松测量，而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求，无论什么颜色，物体表面是漫反射或者高光面，乃至于镜面都可以轻松测量。浙江非接触式传感器应用案例马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎您的来电！

汽车行业汽车是现代工业自动化的产物。汽车行业高速发展，汽车各个部件的生产制造过程中，涉及到各种各样的测量、识别、分选和检查，例如微小工件尺寸的精确测量，工件装配的段差和间隙的测量，产品包装上的条码和字符识别等。它们可能具有以下一些特点：高速大批量检测、检测精度要求高、被测对象尺寸微小等。在上述的这些情况下，利用人工无法连续稳定的进行检测；另外，每个人的判断标准不统一也导致检测结果的不一致。这时，人们开始考虑把利用相机镜头来代替人类视觉并结合图像处理技术来实现检测，于是形成了一门新学科----机器视觉。光谱共焦传感器运用高分辨率线性相机（亚微米探测）和高扫描速度，满足了汽车制造过程对精度和速度的要求。

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理：干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，竭诚为您。

光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。浙江非接触式传感器应用案例

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光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差：每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内，这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射（或后向散射）光束到达***平面时，波长的光线会聚焦在***上，以便它们可以穿过***并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点，因此它们被***阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时，光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。浙江非接触式传感器应用案例