扫描电子显微镜可观察试样的各个区域的细节。试样在样品室中可动的范围非常大。其他方式显微镜的工作距离通常只有2~3cm,故实际上只许可试样在两度空间内运动。但在扫描电子显微镜中则不同,由于工作距离大(可大于20mm),焦深大(比透射电子显微镜大10倍),样品室的空间也大,因此,可以让试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移,三度空间旋转),且可动范围大,这对观察不规则形状试样的各个区域细节带来极大的方便。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子(AuE)、二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、X射线(特征X射线、连续X射线)、阴极荧光(CL)、吸收电子(AE)和透射电子(图b)。每种电子信号的用途因作用深度而异。电子显微镜探测器是用来收集电子的信号或次级信号的。湖北钨灯丝扫描电子显微镜在哪里买
大型透射电镜(conventionalTEM)一般采用80-300kV电子束加速电压,不同型号对应不同的电子束加速电压,其分辨率与电子束加速电压相关,可达0.2-0.1nm,较好机型可实现原子级分辨。低压小型透射电镜(Low-Voltageelectronmicroscope,LVEM)采用的电子束加速电压(5kV)远低于大型透射电镜。较低的加速电压会增强电子束与样品的作用强度,从而使图像衬度、对比度提升,尤其适合高分子、生物等样品;同时,低压透射电镜对样品的损坏较小。冷冻电镜(Cryo-microscopy)通常是在普通透射电镜上加装样品冷冻设备,将样品冷却到液氮温度(77K),用于观测蛋白、生物切片等对温度敏感的样品。通过对样品的冷冻,可以降低电子束对样品的损伤,减小样品的形变,从而得到更加真实的样品形貌。西藏台式扫描电子显微镜电子显微镜生产商电子显微镜电子源阴极和阳极之间的电压差必须非常高,一般在数千伏到3百万伏特之间。
电子显微镜结构:电子显微镜由电子光学系统、真空系统和供电系统三部分组成:电子光学系统,电子光学系统主要有电子、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。电子是由钨丝热阴极、栅极和阴极构成的部件。它能发射并形成速度均匀的电子束,所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。电子透镜是电子显微镜镜筒中较重要的部件,它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦,其作用与玻璃凸透镜使光束聚焦的作用相似,所以称为电子透镜。现代电子显微镜大多采用电磁透镜,由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。
电子显微镜的发明,极大推动材料科技发展。电子显微镜中,对电子束进行折射的物质为电场或磁场,中心对称的磁场,其成像性质和高斯透镜几何光学一级近似,被称为磁透镜。磁透镜可以是永磁和电磁。地球沿着南北极贯穿,可以看做一个巨大的磁透镜,磁透镜焦距固定;电磁透镜通过改变线圈电流可改变透镜磁场强度,从而改变透镜焦距。TEM成像采用平行入射电子束照射样品,后续的电磁透镜通过同时聚焦从样品各个像素点发出的不同散射方向透射电子(TE-transmissionelectron),从而对电子束照射区域进行放大成像,通过调节中间的电磁透镜焦距,可实现放大倍数调节,较后用投影镜将物像照射在图像记录或显示上;SEM/STEM使用汇聚电子束照射样品,逐点扫描成像,空间分辨率和汇聚电子束束斑直径相关,通过改变电子束扫描区域大小来改变放大倍数。现代电子显微镜大多采用电磁透镜,由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。
为突破光学显微镜的分辨极限,人们想到用电子束做照明束,并与上个世纪三十年代制造出了一台扫描电子显微镜。它的分辨率已经达到了原子水平(≈0.1um),比光学显微镜提高了近两千倍。·电子头发射电子束,电压加速、磁透镜系统汇聚,形成直径约5nm的电子束。·电子束在偏转线圈的作用下,在样品上做光栅状扫描,激发多种电子信号。·探测器收集电子信号,经过电信号放大器加以放大处理,在显示系统上成像。·二次电子的图像信号动态地形成三维图像。扫描电镜是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。广东台式扫描电子显微镜企业
扫描电镜景深长,所获得的图像立体感强,可用来观察生物样品的各种形貌特征。湖北钨灯丝扫描电子显微镜在哪里买
电子透镜用来聚焦电子,是电子显微镜镜筒中较重要的部件。一般使用的是磁透镜,有时也有使用静电透镜的。它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦,其作用与光学显微镜中的光学透镜(凸透镜)使光束聚焦的作用是一样的,所以称为电子透镜。光学透镜的焦点是固定的,而电子透镜的焦点可以被调节,因此电子显微镜不像光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。现代电子显微镜大多采用电磁透镜,由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。湖北钨灯丝扫描电子显微镜在哪里买
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