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光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源,通过色散透镜发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值(测量范围)。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦,只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到,其他波长的光被挡在小孔之外,通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有想法可以来我司咨询!

在半导体行业应用:LED芯片三维测量LED晶圆光学检测BGA半导体封装光伏晶圆表面形貌测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件,即使它们位于移动产线上、在高温环境中,甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少,因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此,对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用,它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟,具有高度重复性。这样可以控制高达100%的涂层部件,严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状使用简单,拆装方便,扫描速度快,定位精度高重复精度±0.5~±1µm;稳定性高,抗干扰能力强。黑龙江点光谱共焦传感器价格
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光谱共焦线传感器由180个点组成,可以测量距离厚度粗糙度形状高分辨率各种材料适用于各种行业。适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度,Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍光谱共焦视觉检测相机,AOI彩色共焦线相机检测系统:自动光学检测,可以测量尺寸高分辨率各种材料适用于各种行业。工业4.0100%在线自动测量与质量控制柔性系统,高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒高分辨率的直角坐标机械手:±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量:±0.05mm重复性适用任何反射表面3D系统致力于粗糙度,3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X;Y;Z):±0.001mm3大尺寸选择:100x100mm2;200x200mm2;300x300m2…可与STIL传感器配套使用,并集成了点、线、相机的3D软件系统亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量:小于1微米浙江点光谱共焦传感器厂家