珠海半导体水导激光加工自动化集成方案

中科煜宸始终坚持“担当、执行、学习、尊重”的关键价值观，以客户需求为导向，不断提升产品质量和服务水平。公司的客户遍布全球多个国家和地区，涵盖航空航天、医疗器械、半导体、汽车制造、新能源等多个 好品质制造领域。通过为客户提供优越的产品和服务，中科煜宸赢得了客户的普遍信赖和好评，多次获得行业内的优越企业称号。未来，中科煜宸将继续坚守初心，深耕激光智能制造领域，为我国工业企业的技术升级和现代化产业体系建设做出更大的贡献。中科煜宸水导激光技术实现激光精确性与水射流冷却性完美融合，开启精密加工“冷加工”全新范式。珠海半导体水导激光加工自动化集成方案

在多晶立方氮化硼（PCBN）、多晶金刚石（PCD）等超硬材料加工中，中科煜宸水导激光技术展现出了 优越的性能。这些超硬材料具有极高的硬度和耐磨性，传统加工方式难以处理，而水导激光通过高能量密度的激光脉冲和水射流的冷却冲刷作用，能够实现高效精确的切割。在PCD刀具加工中，该技术可实现刀具刃口的精密修整，刃口锋利度提升40%，使用寿命延长2倍以上；在PCBN砂轮加工中，能够精确控制砂轮的形状和精度，提升磨削效率和质量。目前，中科煜宸水导激光设备已成为超硬材料加工领域的必定选择设备，为刀具、模具等行业的技术升级提供了支撑。西安超小水导激光加工与传统加工对比可选配的在线监测系统能实时监控水束形态与加工状态，实现质量闭环控制与预防性维护，确保批量生产一致性。

半导体和微电子制造是精度角逐的顶峰领域。中科煜宸水导激光技术在该领域具有广阔的应用前景。它可以用于晶圆的隐形切割（Stealth Dicing），特别是对于超薄晶圆和易碎化合物半导体（如GaAs, GaN）晶圆，水导激光能实现几乎无碎屑、无热应力、高成品率的分离。可用于加工陶瓷封装基板、LED蓝宝石衬底的精细切割与钻孔，提高效率和良率。还可用于柔性电路板（FPC）的轮廓切割和打孔，避免铜箔翘起和PI基材烧焦。在芯片封装过程中，可用于清理溢胶、标记等，而不损伤敏感的半导体结构。其无静电、无污染的特性，也符合洁净室生产环境的要求，正逐步成为半导体后端制程和先进封装的关键技术之一。

除了热影响极小，中科煜宸水导激光技术还带来了完美的加工洁净度。传统激光加工在空气中进行，容易引发材料氧化、产生烧灼残留和烟尘沉积；而传统水射流切割虽然冷却性好，但纯水切割硬质材料能力有限，加磨料则会导致切割面污染和 nozzle 磨损。水导激光完美融合了二者的优点：水射流在引导激光的同时，如同一个持续的“微型清洗 ”，在材料被激光作用的瞬间就将汽化和熔融的产物从切缝或加工区强力冲刷干净，没有时间让熔渣重新附着或氧化。因此，加工表面异常洁净，无熔渣、无氧化层、无毛刺，通常可直接获得近乎抛光效果的表面质量，省去了后续繁杂的清洗、去毛刺等二次加工工序，明显提升了生产效率和产品良率，尤其适用于对洁净度要求极高的半导体、光学元件和食品医疗器件制造。锂电池极耳水导激光切割无氧化毛刺，电阻值降低15%提升电池安全寿命。

在硬质合金刀具加工中，传统的加工方式容易导致硬质合金刀具刃口崩损、精度下降，而中科煜宸水导激光技术能够实现刀具的精密加工和刃口修整。该技术加工的硬质合金刀具，刃口锋利度提升30%，表面粗糙度Ra值低至0.3μm，使用寿命延长2倍以上。在立铣刀、钻头等刀具加工中，能够实现复杂刃型的精确加工，提升刀具的切削效率和加工质量。目前，该技术已应用于多家刀具制造企业，推动了我国刀具行业的技术升级，缩小了与国际先进水平的差距。该项技术将激光如同束缚在光纤中一样稳定传输于水流内部，直达工件进行加工。水辅助激光水导激光加工在航空航天的应用

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在精密仪器制造领域，中科煜宸水导激光技术能够实现精密仪器零部件的高效精密加工，如钟表齿轮、微型轴承、传感器等部件的加工。在钟表齿轮加工中，该技术可实现齿形的精确切割，齿形误差控制在±2μm以内，提升了钟表的走时精度；在微型轴承加工中，能够实现轴承内外圈的精密切割和打磨，表面粗糙度Ra值低至0.2μm，提升了轴承的旋转精度和使用寿命。该技术为精密仪器制造行业提供了全新的加工解决方案，推动了精密仪器的微型化、高精度发展。珠海半导体水导激光加工自动化集成方案

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