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在半导体和微机电系统制造中，光刻胶在完成图形转移后需要被彻底去除。等离子清洗机利用氧等离子体与光刻胶发生剧烈的氧化反应，能将其分解为二氧化碳和水蒸气，实现高效、均匀、无残留的剥离，且对底层器件无损伤。在半导体和微机电系统制造中，光刻胶在完成图形转移后需要被彻底去除。等离子清洗机利用氧等离子体与光刻胶发生剧烈的氧化反应，能将其分解为二氧化碳和水蒸气，实现高效、均匀、无残留的剥离，且对底层器件无损伤。等离子体可轻柔冲刷被清洗物表面，短时间彻底清洁。

表面清洁是等离子清洗机的重要功能，等离子清洗机可实现纳米级洁净度。工作时，等离子体中的高能粒子高速撞击材料表面，能快速击碎污染物分子键，有机污染物被氧化分解为CO₂和H₂O，随气流排出；无机氧化物则通过离子轰击剥离。该功能适配于多种场景：半导体晶圆可清理光刻胶残留，PCB板能去除孔壁钻渣，光学镜片可清洁表面微尘。相比超声波清洗，等离子清洗机更能深入深孔、缝隙等复杂结构，且无水分残留，避免后续工艺存在隐患。等离子清洗机能去除物体表面的脱膜剂、蛋白等污染物。哪些等离子清洗机生产过程

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