汽车制造领域的光学检测正在随着汽车智能化和电动化的发展快速普及。汽车零部件的尺寸检测、外观缺陷检测、焊缝检测、涂装质量检测、车载镜头光学性能检测、动力电池相关检测等场景,都在大量采用自动化光学检测技术替代人工检测。汽车制造领域的检测对象通常尺寸差异大,形状复杂,需要多轴运动系统配合工业机器人实现复杂轨迹的检测。博源精控的多轴组合运动系统可根据汽车零部件检测的需求灵活配置,支持与机器人的协同工作,高精度定位能够保证检测数据的准确性,高速度运动能够满足汽车产线的高节拍生产需求,帮助汽车零部件厂商实现全自动化的质量控制。硬件触发同步技术可保证运动位置、相机曝光、光源点亮三者时序准确匹配。北京电动微米纳米光学检测推荐

在精密轴承等回转体零件的光学检测中,通常需要带动工件做高速旋转运动,同时配合线阵相机完成整个圆柱面的缺陷扫描检测。这就需要高精度的空气主轴或者机械主轴提供高转速、高回转精度的旋转运动,同时配合直线运动平台成轴向进给,实现整个圆柱面的全覆盖扫描。博源精控可提供集成高精度旋转轴和直线轴的回转体检测用运动平台,主轴回转精度可达0.1微米,转速可达数千转每分钟,配合轴向直线运动,能够快速完成轴承滚子、圆柱销、精密轴类零件的全表面光学检测,检出微米级的表面缺陷,帮助精密零部件制造企业实现回转体零件的全自动质量检测。重庆小行程光学检测生产厂家内置多种扫描轨迹规划算法,可支持光栅、螺旋、轮廓等多种扫描模式自动运行。

干涉测量作为光学检测领域精度较高的测量技术之一,能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度,广应用于光学元件面形检测、精密位移校准、长度计量等场景。干涉测量对环境振动和空气扰动极为敏感,微小的振动就会导致干涉条纹模糊,无法进行稳定测量,因此不只需要高精度的隔振平台,还需要运动过程中极其平稳的调整机构。博源精控的隔振光学平台固有频率低于2Hz,能够有效隔离地面振动,配合高精度电动调整架,能够实现干涉仪光路的精确对准和被测件的精密调整,保证干涉测量的稳定性和准确性,为光学计量实验室、光学元件制造企业提供高精度的测量基础平台。
气浮导轨技术在超精密光学检测领域具备具备较高应用价值的优势。对于检测分辨率达到亚微米甚至纳米级的超精密光学检测场景,机械接触式导轨存在的摩擦、磨损、间隙等问题会直接影响检测精度,而气浮导轨通过压缩空气在运动面与导轨面之间形成几微米厚的气膜,实现完全无接触的运动支撑,完全消除了机械摩擦和磨损,运动平稳性和定位精度都达到了较高水平。博源精控的直驱气浮滑台系列采用高精度花岗岩气浮导轨,直线度误差控制在亚微米级,运动过程中无任何机械接触,具备较高的运动平稳性和定位精度,特别适用于激光干涉测量、超精密光学元件表面检测、半导体光刻对准等对运动精度要求较高的光学检测场景。手动位移台调整灵活,成本可控,适合光学检测系统搭建阶段的光路校准使用。

半导体行业是光学检测技术应用较前沿、要求较高的领域之一。从晶圆制造过程中的光刻对准、薄膜厚度测量、缺陷检测,到封装环节的引脚检测、键合质量检测、芯片外观检测,几乎每一个生产环节都离不开高精度光学检测技术。随着半导体工艺节点不断推进,对检测精度的要求也从微米级提升到纳米级,这对检测系统中的运动平台提出了较高的要求,不只需要纳米级的定位精度,还需要具备较高的运动平稳性和洁净度适配能力。博源精控的直驱气浮滑台系列采用无接触气浮导轨设计,运行过程中无粉尘产生,良好适配半导体制造的洁净室环境,纳米级的定位精度能够满足先进制程晶圆检测的需求,已经为多家半导体检测设备厂商提供了关键运动平台解决方案。模块化运动平台组合灵活,可快速搭建不同配置的光学检测系统,缩短研发周期。北京微型光学检测
非标定制运动方案可根据客户检测需求设计,适配特殊行程、负载与安装空间要求。北京电动微米纳米光学检测推荐
在光学检测设备的研发过程中,原型验证是非常重要的环节,新的检测方案、新的光路设计、新的算法都需要在原型平台上进行验证,这就需要灵活、通用、高精度的运动平台作为基础,能够快速搭建不同配置的检测系统,缩短研发周期。博源精控的各类标准位移台产品采用模块化设计,组合灵活,能够快速组装成一维、二维、三维甚至多旋转轴的运动系统,配合通用的运动控制器,能够快速搭建光学检测原型系统,帮助研发人员快速验证新的检测方案,大幅缩短光学检测设备的研发周期,降低研发成本,助力光学检测技术的创新迭代。北京电动微米纳米光学检测推荐
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