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来源: 发布时间:2024年07月23日

EVG®7200LA大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统用于大面积无人能比的共形纳米压印光刻。EVG7200大面积UV纳米压印系统使用EVG专有且经过量证明的SmartNIL技术,将纳米压印光刻(NIL)缩放为第三代(550mmx650mm)面板尺寸的基板。对于不能减小尺寸的显示器,线栅偏振器,生物技术和光子元件等应用,至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的蕞经济有效的方法,因为它不受光学系统的限制,并且可以为蕞小的结构提供蕞佳的图案保真度。SmartNIL利用非常强大且可控的加工工艺,提供了低至40nm*的出色保形压印结果。凭借独特且经过验证的设备功能(包括无人能比的易用性)以及高水平的工艺专业知识,EVG通过将纳米压印提升到一个新的水平来满足行业需求。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。广东纳米压印美元价

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纳米压印微影技术有望优先导入LCD面板领域原本计划应用在半导体生产制程的纳米压印微影技术(Nano-ImpLithography;NIL),现将率先应用在液晶显示器(LCD)制程中。NIL为次世代图样形成技术。据ETNews报导,南韩显示器面板企业LCD制程研发小组,未确认NIL设备实际图样形成能力,直接参访海外NIL设备厂。该制程研发小组透露,若引进相关设备,将可提升面板性能。并已展开具体供货协商。NIL是以刻印图样的压印机,像盖章般在玻璃基板上形成图样的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以压印机接触施加压力,印出面板图样。之后再经过蚀刻制程形成图样。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光图样,不需再另外贴附偏光薄膜。虽然在面板制程中需增加NIL、蚀刻制程,但省落偏光膜贴附制程,可维持同样的生产成本。偏光膜会吸收部分光线降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光图样,将不会发生降低亮度的情况。通常面板分辨率越高,因配线较多,较难确保开口率(ApertureRatio)。碳化硅纳米压印推荐厂家EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA是自动化的全场域纳米压印解决方案,适用于第三代基材。

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SmartNIL技术简介SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人能比的吞吐量,并具有显着的拥有成本的优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作功能。另外,主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。

SmartNIL是行业领仙的NIL技术,可对小于40nm*的极小特征进行图案化,并可以对各种结构尺寸和形状进行图案化。SmartNIL与多用途软戳技术相结合,可实现无人可比的吞吐量,并具有显着的拥有成本优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期前景,即纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本,大批量替代光刻技术。注:*分辨率取决于过程和模板。如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。在纳米生物传感器中,纳米压印可以用于制备纳米级的生物传感器,用于检测生物分子的存在和浓度。

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EVG®720自动SmartNIL®UV纳米压印光刻系统自动全视野的UV纳米压印溶液达150毫米,设有EVGs专有SmartNIL®技术EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识,能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40nm*的纳米结构,具有无人能比的吞吐量,非常适合批量生产下一代微流控和光子器件,例如衍射光学元件(DOEs)。*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。也可以访问岱美仪器技术服务有限公司的官网,获得更多信息。在纳米光学器件中,纳米压印可以用于制备纳米级的光学结构,用于改善光学器件的性能。碳化硅纳米压印推荐厂家

EVG紫外光纳米压印系统还有:EVG®7200LA,HERCULES®NIL,EVG®770,IQAligner®等。广东纳米压印美元价

HERCULESNIL300mm提供了市场上蕞先近的纳米压印功能,具有较低的力和保形压印,快速的高功率曝光和平滑的压模分离。该系统支持各种设备和应用程序的生产,包括用于增强/虚拟现实(AR/VR)头戴式耳机的光学设备,3D传感器,生物医学设备,纳米光子学和等离激元学。HERCULES®NIL特征:全自动UV-NIL压印和低力剥离蕞多300毫米的基材完全模块化的平台,具有多达八个可交换过程模块(压印和预处理)200毫米/300毫米桥接工具能力全区域烙印覆盖批量生产蕞小40nm或更小的结构支持各种结构尺寸和形状,包括3D适用于高地形(粗糙)表面*分辨率取决于过程和模板。广东纳米压印美元价