上海德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

在organ芯片研究中，模拟人体organ微环境需要微米级精度的三维结构。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术，帮助科研团队在 PDMS 材料上构建出仿生血管网络与组织界面。某再生医学实验室使用 Polos 光刻机，成功制备出肝芯片微通道，其内皮细胞黏附率较传统方法提升 40%，且可通过软件实时调整通道曲率，precise模拟肝脏血流动力学。该技术缩短了organ芯片的研发周期，为药物肝毒性测试提供了更真实的体外模型，相关成果入选《自然・生物技术》年度创新技术案例。空间友好设计：占地面积小于 1.2㎡，小型实验室也能部署高精度光刻系统。上海德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

德国Polos-BESM系列光刻机采用无掩模激光直写技术，突破传统光刻对物理掩膜的依赖，支持用户通过软件直接输入任意图案进行快速曝光。其亚微米分辨率（most小线宽0.8 µm）和405 nm紫外光源，可在5英寸晶圆上实现高精度微纳结构加工18。系统体积紧凑，only占桌面空间，搭配闭环自动对焦（1秒完成）和半自动多层对准功能，大幅提升实验室原型开发效率，适用于微流体芯片设计、电子元件制造等领域。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。上海德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米跨学科应用：覆盖微机械、光子晶体、仿生传感器与纳米材料合成领域。

德国 Polos 光刻机系列的一大突出优势，便是能够轻松输入任意图案进行曝光。在科研工作中，创新的设计理念往往需要快速验证，而 Polos 光刻机正满足了这一需求。科研人员无需花费大量时间和成本制作掩模，只需将设计图案导入系统，就能迅速开始光刻作业。​ 在生物医学工程领域，研究人员利用这一特性，快速制作出具有特殊结构的生物芯片，用于疾病诊断和药物筛选。在材料科学研究中，可根据不同材料特性，定制独特的图案结构，探索材料的新性能。这种灵活的图案输入方式，remarkable缩短了科研周期，加速科研成果的产出，让科研人员能够将更多精力投入到创新研究中。

低成本桌面化光刻：SPS POLOS µ的科研普惠！Polos系列在微流体领域实现复杂3D流道结构的快速成型。例如，中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列，研究细胞浸润行为，为组织工程提供新策略3。Polos的高精度与灵活性支持仿生结构批量生产，推动医疗诊断芯片研发，如tumor筛查与药物递送系统的微型化64。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。生物界面创新：微纳结构可控加工，为组织工程提供新型仿生材料解决方案。

在微流控芯片集成领域，某微机电系统实验室利用 Polos 光刻机的多材料同步曝光技术，在同一块 PDMS 芯片上直接制备出金属电极驱动的气动泵阀结构。其微泵通道宽度可控制在 20μm，流量调节精度达 ±1%，响应时间小于 50ms。通过软件输入不同图案，可在 10 分钟内完成从连续流到脉冲流的模式切换。该芯片被用于单细胞代谢分析，实现了单个tumor细胞葡萄糖摄取率的实时监测，检测灵敏度较传统方法提升 3 倍，相关设备已进入临床前验证阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。亚微米级精度：0.8 µmmost小线宽，支持高精度微流体芯片与MEMS器件制造。重庆光刻机光源波长405微米

Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品，推动无掩模光刻技术普及。上海德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

在构建肝脏芯片的血管化网络时，某生物工程团队使用 Polos 光刻机实现了跨尺度结构制备。其无掩模技术在 200μm 的主血管与 5μm 的blood capillary间precise衔接，血管内皮细胞贴壁率达 95%，较传统光刻提升 30%。通过输入 CT 扫描的真实肝脏血管数据，芯片成功模拟门静脉与肝窦的血流梯度，使肝细胞功能维持时间从 7 天延长至 21 天。该技术为药物肝毒性测试提供了接近体内环境的模型，某制药公司使用后将候选药物筛选周期缩短 40%，相关成果登上《Lab on a Chip》封面。上海德国POLOS桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米