中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净为 25 + 微电子洁净车间建模块化洁净室,空气分子污染控制达标,芯片性能提升!深圳手持洁净室颗粒物

中源绿净智能洁净室物联网平台,具备洁净设备(如 FFU、空气过滤器、传感器)远程运维功能,平台可实时采集设备运行参数(如 FFU 电机温度、过滤器压差、传感器供电电压),支持通过平台远程对设备进行参数调整(如修改 FFU 转速、校准传感器),远程运维响应时间≤2 秒,设备故障远程排查成功率达 80% 以上。电子厂洁净车间设备数量多、分布广,传统运维需人员现场巡检、调试,不耗时久,还可能因人员进出影响洁净度 —— 某电子厂洁净车间有 200 台 FFU,传统运维需 2 名工程师每天巡检 4 小时,每月产生运维成本约 1.5 万元,且人员频繁进出导致洁净区每月超标 2-3 次。该平台通过远程运维,工程师可在控制室查看所有 FFU 的运行状态,当某台 FFU 电机温度超过 80℃(正常阈值为 75℃)时,远程调整电机运行参数,若参数调整无效,再安排人员现场维修,减少不必要的现场操作。苏州十级洁净室在线监测系统中源绿净为 50 + 半导体光刻车间打造模块化洁净室,微粒控制达标,光刻精度提升!

中源绿净洁净度在线监测系统,可同步记录洁净设备(如 FFU、空气过滤器、空调系统)的维护数据,包括维护时间、维护内容(如更换滤芯、清洁设备、校准传感器)、维护人员、维护后设备运行参数(如 FFU 转速、过滤器压差),数据记录完整性达 100%,可长期存储(存储期限≥5 年)。电子厂洁净设备的维护情况直接影响洁净度稳定性与设备使用寿命,若缺乏完整的维护档案,可能导致维护不及时或过度维护 —— 某电子厂 FFU 因未记录维护时间,超过建议维护周期(12 个月)仍未更换滤芯,导致 FFU 过滤效率下降,洁净区粒子浓度超标,影响产品生产。该系统通过记录维护数据,自动生成设备维护提醒,例如 FFU 运行满 10 个月时,推送滤芯更换提醒;空气过滤器压差达到设定阈值(如初始压差的 2 倍)时,提醒清洁或更换。系统还可生成设备全生命周期报告,包含设备采购时间、安装时间、历次维护记录、故障记录、当前运行状态等信息,帮助设备主管分析设备使用寿命规律
中源绿净针对电子元器件制造特性,其 FFU 与洁净度联动系统采用分布式联动架构,可根据车间布局、生产工序合理部署 FFU 与监测点,实现从元器件焊接、封装、测试到成品仓储的全流程覆盖,支持近距离监测生产线关键工位,捕捉局部区域的微粒污染并联动周边 FFU。系统支持多终端同步工作,数据实时汇总至平台,可按工位、工序、时间段等维度分析微粒浓度变化与 FFU 联动效果,帮助管理人员找出污染源头。在电子元器件焊接车间,焊接过程中产生的烟雾与微粒可能导致元器件短路,系统可实时预警并联动 FFU 提速;在芯片测试车间,测试区域的微粒可能影响测试探针与芯片的接触,近距离监测与联动可确保测试环境洁净。适用场景包括电阻电容生产车间、芯片制造车间、电子组装车间等,系统支持与电子工厂的质量管理系统对接,实现联动数据与产品批次的关联记录,便于质量追溯,FFU 联动终端体积小巧,可灵活安装在生产线旁,不占用过多空间。中源绿净为 60 + 制药水针车间建模块化洁净室,可见异物合格率提升至 99.9%,减少返工!

中源绿净洁净度在线监测系统,配备多语言数据显示界面(含中文、英文、德文、日文等 8 种语言),系统可根据用户所在地区自动切换语言,语言切换响应时间≤1 秒,数据格式(如日期、单位)可同步适配不同国家或地区的标准(如符合欧盟、美国、日本的计量标准)。药厂开展跨国生产或接受国际认证(如欧盟 GMP、美国 FDA 认证)时,需向国际监管机构提供多语言的洁净度监测数据报告,若系统不支持多语言功能,将增加报告编制的工作量与出错风险 —— 某跨国药厂曾因原监测系统支持中文,在申请欧盟 GMP 认证时,需人工将数千条监测数据翻译成英文,耗时 2 周且出现 3 处数据翻译错误,导致认证审核延迟。该系统通过多语言界面,可直接生成符合国际标准的多语言监测报告,报告包含粒子浓度、温湿度、压差等数据,且数据单位(如 PCS/m³、℃、% RH、Pa)可根据目标地区要求切换(如欧盟常用 PCS/m³,美国部分地区常用 PCS/中源绿净为 45 + 医疗器械研发室打造模块化洁净室,符合 ISO 14644-1 标准,研发效率提升!苏州百万级洁净室颗粒物
中源绿净为 25 + 血液制品车间建模块化洁净室,符合 GMP 附录要求,产品安全性提升!深圳手持洁净室颗粒物
中源绿净的洁净室环境监测系统,开发移动端报表查看功能,用户通过配套手机 APP,可随时随地查看洁净环境的各类报表,无需依赖电脑端,提升洁净管理的灵活性与效率。APP 支持的报表类型包括实时数据报表(当前各区域微粒、温湿度、压差数据汇总)、日报表(当日各指标日均浓度、超标次数、设备运行时长)、周 / 月 / 年报表(周期内数据趋势、达标率统计、报警事件汇总)、自定义报表(用户选择特定指标、特定区域、特定时间段生成的报表)。报表展示采用可视化图表(折线图、柱状图、饼图)+ 数据表格结合的形式,例如日报表中,用折线图展示当日微粒浓度变化,用柱状图对比各区域超标次数,用表格展示详细数值,直观且信息完整。深圳手持洁净室颗粒物