北京洁净室环境检测规范性强

    1.适用范围此程序适用于高效过滤器完整性测试(俗称高效过滤器检漏)。2.高效过滤器检漏原理通过气溶胶光度计测定上下游粒子的浓度，得出泄漏率的大小。3.仪器设备气溶胶发生器气溶胶光度计供气软管耗材:PAO(EMERY3004)高效过滤器检漏价格?高效过滤器检漏按照高效过滤器数量进行收费，过滤器分为液槽式过滤器和隔板式过滤器，一般检测时采用冷发收费较贵而采用热发收费较为优惠，具体报价请联系旦霆科技销售顾问。高效过滤器检漏周期?高效过滤器检漏周期一般按照GB规定每1年进行高效过滤器检漏一次4.高效过滤器完整性测试方法/高效过滤器检漏方法/高效过滤器DOP检漏方法操作步骤预检查①对于非层流区域-关闭HVAC的风机。-拆除中效过滤器。-将气溶胶发生器放置于机组的负压段。②对于层流单元-发烟位置靠近回风口，风机进风口或专门的气溶胶发烟口。-找到高效过滤器前的测试软管或测试孔，如果没有测试孔，可在空调机组的压力表处测试上游浓度。-将光度计内部参数调节至100。高效过滤器完整性测试(高效检漏)-扫描HEPA的表面及其边框。-对球型结构，直接将高效过滤器的软管或洞与光度计下游通道相连。高效过滤器完整性测试(高效检漏)测试程序-接通电源，温度升至400??C。洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。北京洁净室环境检测规范性强

①浮游菌的测试a.首先应对测试仪器、培养皿表面进行严格消毒，采样器进入被测房间时，先用消毒房间的消毒剂灭菌。用于5级洁净房间的采样器宜一直放在洁净房间。b.采样者应穿戴洁净服双手要消毒。c.开动真空泵抽气使仪器中的残余消毒剂蒸发时间不少于5min，并调好流量转盘转速。关闭真空泵放入培养皿盖好盖子后调节采样器。d.置采样口于采样点后依次开启采样器、真空泵、转动定时器、根据采样量选定采样时间。全部采样结束后，将培养皿倒置于30-35℃恒温培养箱中，培养时间不少于48h。e.用肉眼直接计数，然后用5-10倍放大镜检查是否有遗漏，若平板上有两个或两个以上的菌落重叠分辨时，仍以两个或两个以上菌落计数。广东生物安全柜检测规范性强洁净室检测前，需对检测设备进行校准，确保数据准确性。

空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响压差检测有助于确认洁净室与非洁净区之间的隔离效果。

空气洁净度：这是洁净车间环境检测的**指标，通常通过检测空气中的尘埃粒子数来评估。不同洁净等级的车间对尘埃粒子的限制不同，如洁净度等级为100级的车间对大于等于5μm的尘粒有严格的计数要求。微生物指标：包括浮游菌、沉降菌等微生物的数量。这些微生物可能对产品质量和工作人员健康造成影响，因此需要进行严格的控制和监测。温度与湿度：洁净车间需要保持稳定的温度和湿度环境，以确保生产过程的顺利进行和产品质量的稳定。通常，生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室温度应为18~26℃，相对湿度应为45~65%。不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。排风柜检测技术好

运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。北京洁净室环境检测规范性强

对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量，测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形边长，比较好不大于200mm测点，设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管，应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。北京洁净室环境检测规范性强