2、温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。***个档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。3、压差这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界**远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。洁净室检测结果的准确性直接影响到产品质量的稳定性。湖北消毒液净化车间环境检测方便客户
温湿度计测量温湿度:电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量,在洁净室检测、监测中使用。常见的有电容式和电阻式传感器,辅以相应电学仪器,即可测定空气的相对湿度。电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体,或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。它们都是利用了在不同湿空气中,由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长,工作稳定性好,使用较普遍。电容式传感器:电容式湿度传感器基本上是一个电容器,在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜,水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放,随着水分子的吸附与释放,高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化,因此,只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。检测优化价格检测为送回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
压差检测要求:(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。(4)所测量记录的数据应精确到1.0Pa。压差检测步骤:(1)先关闭所有的门。(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。(3)记录所有数据。压差标准要求按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。(2)洁净室(区)与室外的静压差,不应小于10Pa。(3)对于空气洁净度等级严于5级(100级)的单向流洁净室在开门时,门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。(4)若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。高效过滤器(HEPA)的完整性测试对于保证空气过滤效果至关重要。
-连接氮气,检查氮气供气压力为50psig()。,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键,调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框,距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp,使用3cm*3cm正方形采样头时,Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头,Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度,Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级(高效检漏)非层流洁净室(高效检漏)A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根,且不少点。洁净室检测通常包括空气洁净度、温湿度、压差等多个参数。浙江国内检测值得推荐
洁净室检测前,应对检测区域进行充分清洁和消毒。湖北消毒液净化车间环境检测方便客户
(1)将所有的门关闭,将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处,垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。(2)静压差的测定应从平面上**里面的房间,通常也就是洁净度级别比较高的房间,与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。(3)对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室,还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。湖北消毒液净化车间环境检测方便客户