11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封,并应装饰处理。利用高速洁净气流吹落进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。安徽洁净度无尘室检测认真负责
16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定:在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时,除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外,还应在系统和该装置正常运转条件下,检测室内臭氧浓度。应按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定:当对新风效果作细致确认时,可在风系统正常运行、室内处于动态条件下,于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度,按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10%的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时,可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测,结果应符合设计要求或双方商定的标准。浙江压差无尘室检测第三方检测机构指洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。
5.2.1洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时,应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5.2.2工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉,宜分别设置人员人口、物料入口和设备出入口,并应在各自的人口处设置相应的净化设施。5.2.3在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下,空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置;空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。
4.3.3洁净室(区)内应少分隔,但下列情况应予分隔:1按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;2在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间;3生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备,宜分隔设读个房间。4.3.4洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的的需要。由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。
6.2.1气体系统管道材质及附件,应按设计要求选配,如设计未作明确要求,选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应,并应符合下列规定:1应使用无缝管材。2管材内表面吸附、解吸气体的作用小。3管材内表面应光滑、耐磨损。4应具有良好的抗腐蚀性能。5管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。6负压管道不宜采用普通碳钢管。6.2.2所用管材应放在室内保管,不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。6.2.3成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。江苏排风柜无尘室检测流程
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6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁,并应减少凹凸面,2当采用踢脚时,踢脚不宜突出墙面。安徽洁净度无尘室检测认真负责