尾气处理系统负责处理工业生产中排放的有毒有害气体,其管道的密封性直接关系到环保与安全。保压测试时,需将尾气管道与处理设备连接成闭环,充入压缩空气至 0.3MPa,关闭进出口阀门后监测 12 小时。根据环保标准,压力降需≤1% 初始压力,否则可能存在泄漏,导致未处理的尾气直接排入大气。尾气处理系统的管道多接触腐蚀性气体(如含氯尾气),长期使用后可能出现焊缝腐蚀、法兰密封失效等问题,保压测试能及时发现这些隐患。例如在化工企业的氯化反应尾气处理中,若管道泄漏,氯气会扩散至车间,危害人员健康,而严格的保压测试可提前规避这类风险,确保尾气 100% 进入处理装置。实验室气路系统的氦检漏,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,保障易燃易爆气体使用安全。阳江尾气处理系统气体管道五项检测耐压测试

高纯气体系统工程中,浮游菌与颗粒污染物往往共存,因此需联动检测。浮游菌会附着在 0.1 微米以上颗粒表面,随气体传播,污染生产环境。例如在生物制药的高纯氮气系统中,浮游菌会导致药品染菌,而颗粒会保护细菌免受消毒剂作用。检测时,颗粒度合格(0.1μm 及以上颗粒≤1000 个 /m³)后,采集气体用撞击法检测浮游菌,每立方米需≤1CFU。检测需关注管道死角(如阀门腔室),这些部位易积聚颗粒和细菌;过滤器需采用除菌级滤芯(孔径 0.22μm),且需验证其完整性。这种联动检测能多方面保障气体洁净度,符合 GMP 等严苛标准。工业集中供气系统气体管道五项检测氦捡漏高纯气体系统工程的水分(ppb 级)检测≤10ppb,避免水分导致精密仪器故障。

电子特气系统工程输送的气体多为剧毒、腐蚀性气体,泄漏会造成严重后果,氦检漏是保障其安全性的 关键一环。检测时,管道抽真空至≤1Pa,充入氦气(压力 0.5MPa),用氦质谱检漏仪扫描,泄漏率需≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s。电子特气管道的阀门、接头是泄漏高发区 —— 例如隔膜阀的隔膜老化会导致泄漏,焊接接头的热影响区可能存在微缝。某半导体厂曾因三氟化氮管道泄漏,导致车间人员中毒,停产 3 天,损失超百万元。因此,电子特气系统工程的氦检漏需 100% 覆盖所有管道部件,检测合格后方可投入使用,且每年需复检一次,确保长期安全。
大宗供气系统的管道内若存在 0.1 微米及以上颗粒污染物,会随气体进入生产设备,造成产品缺陷。例如在光伏行业,硅片清洗用的高纯氮气若含颗粒,会在硅片表面形成划痕,影响电池转换效率;在食品包装行业,颗粒可能污染包装材料,引发食品安全风险。0.1 微米颗粒度检测需用激光颗粒计数器,在管道出口处采样,采样体积≥100L,每立方米颗粒数需≤10000 个(0.1μm 及以上)。检测前需用超净氮气吹扫管道 1 小时,去除管道内壁附着的颗粒。大宗供气系统的管道多为无缝钢管,焊接时若未采用氩弧焊打底,会产生焊渣颗粒;过滤器滤芯老化也会导致颗粒泄漏,而颗粒度检测能及时发现这些问题,确保气体洁净度。电子特气系统工程保压测试,充氮气至 0.5MPa,24 小时压降≤0.5%,保障系统安全。

电子特气系统工程中,水分会导致颗粒污染物增多(如金属氧化物颗粒),因此需关联检测。例如氟化氢气体中的水分会与管道内壁的金属反应,生成氟化盐颗粒(0.1-1μm),堵塞阀门。检测时,先测水分(≤10ppb),合格后再测颗粒度(0.1μm 及以上颗粒≤500 个 /m³)。检测需关注特气的化学特性 —— 如三氯化硼遇水会水解生成盐酸和硼酸颗粒,因此这类特气系统的水分控制需更严格(≤5ppb)。通过关联检测,可多方面评估气体洁净度,避免因水分引发的颗粒污染,确保电子特气系统工程满足半导体生产要求。工业集中供气系统的 0.1 微米颗粒度检测,每立方米≤10000 个,保护精密设备。工业集中供气系统气体管道五项检测氦捡漏
大宗供气系统的氧含量(ppb 级)检测需≤50ppb,避免氧气超标导致金属加工件氧化。阳江尾气处理系统气体管道五项检测耐压测试
高纯气体系统工程对管道泄漏率的要求远高于普通工业管道,因为哪怕是 1×10⁻⁸Pa・m³/s 的微漏,也会导致高纯气体(纯度 99.9999%)被空气污染。氦检漏需采用 “真空法”:先对管道抽真空至≤1Pa,再在管道外侧喷氦气,内侧用氦质谱检漏仪检测。氦气分子直径小(0.31nm),易穿透微小缝隙,检漏灵敏度可达 1×10⁻¹²Pa・m³/s。在高纯氧气、氢气系统中,泄漏会导致气体纯度下降 —— 例如电子级氧气中若混入空气,氧含量降至 99.999%,会导致半导体晶圆氧化层厚度不均。氦检漏能准确定位泄漏点(如阀门填料函、焊接热影响区),为修复提供依据,是高纯气体系统工程验收的 “硬性指标”。阳江尾气处理系统气体管道五项检测耐压测试