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来源: 发布时间:2024年07月25日

    单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。说明书与权利要求中所使用的序数例如“***”、“第二”、“第三”等的用词,以修饰相应的元件,其本身并不意味着该元件有任何的序数,也不**某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序,该些序数的使用*用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能做出清楚区分。此外,除非特别描述或必须依序发生的步骤,上述步骤的顺序并无限制于以上所列,且可根据所需设计而变化或重新安排。并且上述实施例可基于设计及可靠度的考虑,彼此混合搭配使用或与其他实施例混合搭配使用,即不同实施例中的技术特征可以自由组合形成更多的实施例。本领域那些技术人员可以理解,可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件,以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外,可以采用任何组合对本说明书。氖气具有很高的导热性,常用于制冷和冷却设备中。陕西超纯氖

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    又能保证多波长沿着同一输出光路输出,且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节。为使本公开的目的、技术方案和***更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本公开进一步详细说明。在本公开实施例中,提供一种可控的多波长激光输出装置,如图3所示,所述可控的多波长激光输出装置,其为腔外频率转换的方式,包括:基频激光源,输出波长为λ的基频激光;其中900nm≤λ≤1600nm;二倍频非线性晶体,与所述基频激光源相连,用于将波长为λ的基频激光倍频后产生波长为λ/2的激光;三倍频非线性晶体,与所述二倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ的基频激光和λ/2的激光三倍频后产生波长为λ/3的激光;四倍频非线性晶体,与所述三倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ/2的激光倍频后产生λ/4的激光;多个温控炉,用于分别安放所述二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体、四倍频非线性晶体并进行加热,通过控制温控炉温度,实现调节输出光中各个波长激光的比例。所述二倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~150℃;所述三倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~60℃;所述四倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围20~40℃。黑龙江纯氖多少m3在工业气体液氖上部抽出蒸气,很容易使液体氖变为固体氖。

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。

    氦氖激光器稳频氦氖激光器半导体激光器半导体激光器-窄线宽激光器-激光二极管375nm-405nm-445nm-488nm-505nm-520nm-532nm-561nm-593nm-633nm-638nm-660nm-785nm-808nm-830nm-860nm-915nm-980nm-1030-1064nm小型激光器小型半导体激光器-小型稳频激光器-小型纳秒激光器-小型皮秒激光器-小型微片激光器266nm-355nm-405nm-461nm-473nm-488nm-505nm-532nm-633nm-660nm-780nm-946nm-1064nm单纵模激光器单纵模激光器-单频激光器266nm-355nm-405nm-442nm-488nm-515nm-532nm-633nm-638nm-640nm-785nm-830nm-1030nm-1064nm饵激光器饵激光器-2940nm激光器飞秒激光器780nm-1030nm-1550nm-2000nm光斑分析仪光斑分析仪BeamOnU3-激光准直仪AlignMeter-位敏探测仪SpotOnCompact-功率计-波长计微米深度测量仪KY-90-HL-TV-防晒指数测量仪SPF-290AS太赫兹器件太赫兹晶体-太赫兹源-太赫兹相机-太赫兹光谱仪-太赫兹成像系统光学器件Semrock滤光片-紫外UVLED-其它激光器-激光防护镜-ATR探头-特种光纤。装有氖的钢瓶配有卸压装置,它是一块易 碎膜片或是一块由熔点约100 ℃(212 F)的易熔金属作背衬的易碎膜片。

    主进料空气压缩机组、任选的涡轮空气回路和增压器空气回路共同包括“热端”空气压缩回路。类似地,主换热器或初级换热器、基于涡轮的致冷回路的部分和蒸馏塔系统的部分被称为通常容纳在一个或多个绝缘冷箱中的“冷端”系统/设备。热端空气压缩回路在图1、图3和图6所示的主进料压缩机组中,进入的进料空气22通常被抽吸穿过吸气过滤器外壳(asfh)并且在多级中间冷却的主空气压缩机布置24中被压缩至可介于约5巴(a)至约15巴(a)之间的压力。该主空气压缩机布置24可包括串联或并联布置的整体齿轮式压缩机级或直接驱动压缩机级。离开主空气压缩机布置24的经压缩空气26被进料至具有一体式除雾器的后冷却器或(未示出),以移除进入的进料空气流中的游离水分。通过用冷却塔水冷却经压缩进料空气,在后冷却器中将来自主空气压缩机布置24的压缩级的压缩的压缩热移除。来自该后冷却器以及主空气压缩布置24中的一些中间冷却器的冷凝物输送到冷凝物罐,并且用于向空气分离设备的其他部分供应水。然后将冷却且干燥的经压缩空气进料26在预纯化单元28中纯化以从该冷却的干的经压缩空气进料中移除高沸点污染物。如本领域所熟知。一种气体元素,无色无臭,不易与其他元素化合。可用来制霓虹灯和指示灯。陕西Ne氖多少升

氖一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。陕西超纯氖

    空气分离单元在高压塔的状态下操作。大致高压塔转移到氖气回收系统,而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外,氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将约%的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即,来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约%的氖气。通过将粗氖流的流量()乘以粗氖流中的氖气含量(%)并将该数字()除以主空气流(*%)和进入蒸馏塔系统的液体空气流(*%)中包含的氖气,计算出氖气回收率。如表1所示,粗氖蒸气流的组成包括%的氖气和%的氦气。表1。图2的氖气回收系统和相关联方法的工艺模拟)表2示出了针对参考图4描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表2所示,空气分离单元在高压塔的状态下操作。约高压塔转移到氖气回收系统,而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外,氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将超过99%的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即,来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约%的氖气,而粗氖蒸气流的组成包括%的氖气和%的氦气。表2。陕西超纯氖