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宁夏钨坩埚厂家

来源: 发布时间:2025年11月27日

原料质量是决定钨坩埚性能的基础,其发展经历了从粗制钨粉到超高纯原料体系的演进。20 世纪 50 年代前,钨粉制备依赖还原法,纯度≤99.5%,杂质含量高(O≥1000ppm,C≥500ppm),导致坩埚高温性能差。20 世纪 60-80 年代,氢还原工艺优化,通过控制还原温度(800-900℃)与氢气流量,制备出纯度 99.95% 的钨粉,杂质含量降至 O≤300ppm,C≤50ppm,满足半导体基础需求。21 世纪以来,超高纯钨粉技术突破,采用电子束熔炼与区域熔炼相结合的方法,制备出纯度 99.999% 的钨粉,金属杂质(Fe、Ni、Cr 等)含量≤1ppm,非金属杂质(O、C、N)≤10ppm,满足第三代半导体碳化硅晶体生长需求。同时,原料形态优化,从传统不规则粉末发展为球形颗粒(球形度≥0.8)、纳米粉末(粒径 50-100nm),分别适配不同成型工艺:球形颗粒用于等静压成型,改善流动性;纳米粉末用于增材制造,提升致密度。钨 - 硅 - 钇涂层坩埚,1000℃空气中氧化 100 小时,氧化增重≤0.5mg/cm²。宁夏钨坩埚厂家

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下游产业的规模化需求推动钨坩埚向大尺寸方向创新,同时为降低原料成本、提升热传导效率,薄壁化设计成为重要方向。在大尺寸创新方面,通过优化成型模具结构(采用分体式弹性模具,便于脱模)与烧结支撑方式(使用石墨支撑环避免重力变形),结合数控等静压成型技术,成功制备出直径 1200mm、高度 1500mm 的超大尺寸钨坩埚,较传统比较大尺寸(直径 800mm)提升 50%,单次硅熔体装载量从 100kg 增加至 300kg,满足光伏产业大尺寸硅锭(G12 尺寸,210mm×210mm)的生产需求。为解决大尺寸坩埚的热应力问题,采用有限元分析软件(ANSYS)模拟高温下的应力分布,通过在坩埚底部设计弧形过渡结构(曲率半径 50-100mm),将比较大应力降低 30%,避免高温使用时的开裂风险宁夏钨坩埚厂家大型钨坩埚直径可达 1200mm,单次装料 300kg,满足光伏 G12 硅片规模化生产。

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钨元素于 1781 年被瑞典化学家舍勒发现,1847 年科学家成功制备出金属钨,为钨制品发展奠定基础。20 世纪初,随着电弧熔炼技术的突破,金属钨开始用于制作灯丝、高温电极等简单部件,但钨坩埚的研发仍处于空白阶段。直到 20 世纪 30 年代,航空航天领域对高温合金熔炼容器的需求激增,美国通用电气公司尝试用粉末冶金工艺制备钨坩埚 —— 采用冷压成型(压力 150MPa)结合真空烧结(温度 2000℃)技术,生产出直径 50mm 以下的小型坩埚,主要用于实验室贵金属提纯。这一阶段的钨坩埚存在明显局限:原料纯度低(钨粉纯度≤99.5%),致密度不足 85%,高温下易出现变形;制造工艺简陋,依赖人工操作,产品一致性差;应用场景单一,局限于小众科研领域,全球年产量不足 1000 件。但这一时期的探索为后续技术发展积累了基础经验,明确了钨坩埚在高温领域的应用潜力。

真空烧结是钨坩埚实现致密化的工序,通过高温下的颗粒扩散、晶界迁移,消除坯体孔隙,形成高密度、度的烧结体,需精细控制温度制度与真空度。采用卧式或立式真空烧结炉(最高温度 2500℃,极限真空度≤1×10⁻⁴Pa),烧结曲线分四阶段设计:升温段(室温至 1200℃,速率 10-15℃/min),进一步去除脱脂残留水分与气体,避免低温阶段产生气泡;低温烧结段(1200-1800℃,保温 4-6 小时),钨粉颗粒表面开始扩散,形成初步颈缩,坯体密度缓慢提升至 6.5-7.0g/cm³,升温速率 5-8℃/min;中温烧结段(1800-2200℃,保温 6-8 小时),以体积扩散为主,颗粒快速生长,孔隙逐渐闭合,密度提升至 8.5-9.0g/cm³,升温速率 3-5℃/min,此阶段需严格控制真空度≤1×10⁻³Pa,促进杂质挥发;高温烧结段(2200-2400℃,保温 8-12 小时),晶界迁移完成致密化,密度达到 18.0-18.5g/cm³(理论密度 98%-99%),升温速率 2-3℃/min,保温时间根据坩埚尺寸调整,大型坩埚需延长至 12-15 小时,确保内部致密化。钨坩埚在高温传感器制造中,封装敏感元件,保障 - 50 至 2000℃工作稳定。

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冷等静压成型是钨坩埚主流成型方式,适用于各类规格坩埚,尤其适合复杂形状与大尺寸产品,其是通过均匀高压使钨粉颗粒紧密堆积,形成密度均匀的生坯。首先进行模具设计,采用聚氨酯弹性模具(邵氏硬度85±5),内壁光洁度Ra≤0.8μm,根据坩埚尺寸预留15%-20%的烧结收缩量;模具需进密性检测,确保无漏气,避免成型时压力分布不均。装粉环节采用振动加料装置(振幅5-10mm,频率50-60Hz),分3-5层逐步填充钨粉,每层振动30-60秒,确保粉末均匀分布,减少密度梯度;装粉后需平整粉面,避免出现局部凹陷。压制参数需根据坩埚规格优化工业钨坩埚使用寿命可达 200 次热循环,降低设备更换频率,节约成本。宁夏钨坩埚厂家

实验室钨坩埚经酸洗后性能如初,重复使用率高,降低科研成本。宁夏钨坩埚厂家

钨坩埚的优异性能,源于钨元素本身的独特属性。钨作为熔点比较高的金属元素,其熔点高达 3422℃,远高于其他常见金属(如钼的 2610℃、钽的 2996℃),这使得钨坩埚能在 2000℃以上的超高温环境下长期稳定工作,而不会出现软化、变形等问题。同时,钨具有出色的高温强度,在 2000℃时抗拉强度仍保持在 500MPa 以上,是常温下低碳钢强度的 2 倍,能够承受高温物料的重力与热应力作用。此外,钨的化学稳定性较好,在常温下几乎不与空气、水发生反应,高温下与氧气缓慢反应生成三氧化钨(WO₃),且对多数金属熔体(如硅、铝、稀土金属)具有良好的抗腐蚀性,不会因溶解或化学反应污染物料。其热传导系数约为 173W/(m・K),虽低于铜、铝等金属,但在高温金属中表现优异,能实现热量的均匀传递,避免物料局部过热。这些基础特性共同奠定了钨坩埚在高温领域的优势,使其成为极端环境下的理想承载容器。宁夏钨坩埚厂家

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