EVG®6200NT是SmartNILUV纳米压印光刻系统。用UV纳米压印能力设有EVG's专有SmartNIL通用掩模对准系统®技术范围达150m。这些系统以其自动化的灵活性和可靠性而著称,以蕞小的...
EVG光刻机不断关注未来的市场趋势-例如光学3D传感和光子学-并为这些应用开发新的方案和调整现有的解决方案,以满足客户不断变化的需求。我们用持续的技术和市场地位证明了这一点,包括EVG在使用各种非标准...
EVG®610曝光源:汞光源/紫外线LED光源;楔形补偿全自动软件控制;晶圆直径(基板尺寸)高达100/150/200毫米;曝光设定:真空接触/硬接触/软接触/接近模式;曝光选项:间隔曝光/洪水曝光/...
IQAligner®NT技术数据:产能:全自动:手次生产量印刷:每小时200片全自动:吞吐量对准:每小时160片晶圆工业自动化功能:盒式磁带/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,弯曲,翘曲,晶圆...
HERCULES光刻轨道系统特征:生产平台以蕞小的占地面积结合了EVG精密对准和光刻胶处理系统的所有优势;多功能平台支持各种形状,尺寸,高度变形的模具晶片甚至托盘的全自动处理;高达52,000cP的涂...
EVG®6200BA自动键合对准系统 用于晶圆间对准的自动化键合对准系统,用于中等和批量生产 特色 技术数据 EVG键合对准系统提供了蕞/高的精度,灵活性和易用性,模块化升级功能,并且已经在众多高通量...
引线键合主要用于几乎所有类型的半导体中,这是因为其成本效率高且易于应用。在ZUI佳环境中,每秒ZUI多可以创建10个键。该方法因所用每种金属的元素性质不同而略有不同。通常使用的两种引线键合是球形键合和...
在将半导体晶圆切割成子部件之前,有机会使用自动步进测试仪来测试它所携带的众多芯片,这些测试仪将测试探针顺序放置在芯片上的微观端点上,以激励和读取相关的测试点。这是一种实用的方法,因为有缺陷的芯片不会被...
EVG 晶圆键合机上的键合过程支持全系列晶圆键合工艺对于当今和未来的器件制造是至关重要。键合方法的一般分类是有或没有夹层的键合操作。虽然对于无夹层键合(直接键合,材料和表面特征利于键合,但为了与夹层结...
EVG®501键合机特征:独特的压力和温度均匀性;兼容EVG机械和光学对准器;灵活的研究设计和配置;从单芯片到晶圆;各种工艺(共晶,焊料,TLP,直接键合);可选的涡轮泵(<1E-5mbar);可升级...
EVGroup开发了MLE™(无掩模曝光)技术,通过消除与掩模相关的困难和成本,满足了HVM世界中设计灵活性和蕞小开发周期的关键要求。MLE™解决了多功能(但缓慢)的开发设备与快速(但不灵活)的生产之...
AVI600-SAVI600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以...
AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元,蕞大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量,可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,...
我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单,客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商,此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防...
TS-140+40结合了久经考验的技术桌越性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系...
TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此...
将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂...
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振动传递率横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0....
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的...
AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允...
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以...
AVI200-SAVI200-S的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特...
LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AV...
LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AV...
隔振台TS-140+40的技术指标:频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)传递率:参见附件曲线10Hz以上的透射率
TS-300TS系列产品中蕞大的系列,比TS-140/TS-150更大。在公制(M6x25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。频率负载范围TS-300负载范围TS-300LT...
TS-140+40结合了久经考验的技术桌越性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系...
手次使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或...
TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此...
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振动传递率横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0....