您好,欢迎访问
广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所微纳加工平台,面向半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、生物芯片等前沿领域,致力于打造公益性、开放性、支撑性枢纽中心。平台拥有半导体制备工艺所需的整套仪器设备,建立了一条实验室研发线和一条中试线,加工尺寸覆盖2-6英寸(部分8英寸),同时形成了一支与硬件有机结合的专业人才队伍。平台当前紧抓技术创新和公共服务,面向国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享,为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供技术支持。

推荐产品
  • 中山光掩模电子束曝光代工

    晶圆级电子束曝光加工平台是集成了电子束曝光设备、工艺开发及技术服务于一体的综合性平台,面向科研和产业用户提供微纳米图形制造能力。该...

  • 安徽反应磁控溅射技术

    金属磁控溅射系统是一种通过高能粒子撞击高纯度金属靶材,将靶材原子溅射出来并沉积于样品表面的技术。该系统在科研院校中扮演着关键角色,...

  • 湖南双靶磁控溅射流程

    化合物材料磁控溅射工艺是一种利用高能粒子轰击高纯度靶材,经过复杂的粒子散射和靶原子级联碰撞过程,将靶材原子溅射出来并沉积在样品表面...

    推荐新闻