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企业商机 - 广东省科学院半导体研究所
  • 安徽磁控溅射价格 发布时间:2023.01.09

    脉冲磁控溅射的分类:(1)单向脉冲:单向脉冲正电压段的电压为零!溅射发生在负电压段。由于零电压段靶表面电荷中和效果不明显。(2)、双向脉冲:双向脉冲在一个周期内存在正电压和负电压两个阶段,在负电压段,...

  • 惠州真空镀膜厂家 发布时间:2023.01.07

    真空镀膜:真空涂层技术发展到了现在还出现了PCVD(物理化学气相沉积)、MT-CVD(中温化学气相沉积)等新技术,各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷。目前较为成熟的PVD方法主要有多弧镀与磁控溅射镀两...

  • UV光固化真空镀膜工艺 发布时间:2023.01.06

    ALD是一种薄膜形成方法,其中将多种气相原料(前体)交替暴露于基板表面以形成膜。与CVD不同,不同类型的前驱物不会同时进入反应室,而是作为单独的步骤引入(脉冲)和排出(吹扫)。在每个脉冲中,前体分子在...

  • 真空镀膜:离子镀膜法:目前比较常用的组合方式有:直流二极型(DCIP)。利用电阻或电子束加热使膜材气化;被镀基体作为阴极,利用高电压直流辉光放电将充入的气体氩(Ar)(也可充少量反应气体)离化。这种方...

  • 深圳数字光刻 发布时间:2023.01.04

    光聚合型光刻胶采用烯类单体,在光作用下生成自由基,进一步引发单体聚合,较后生成聚合物;光分解型光刻胶,采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂,其经光照后,发生光分解反应,可以制成正性光刻胶;光...

  • 四川光刻代工 发布时间:2023.01.03

    光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、...

  • 金华新型真空镀膜 发布时间:2023.01.02

    真空镀膜的方法很多,计有:真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13。3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

  • 中山光学真空镀膜 发布时间:2022.12.31

    真空镀膜技术在国民经济各个领域有着广泛应用,特别是近几年来,我国国民经济的迅速发展、人民生活水平的不断提高和高科技薄膜产品的不断涌现。尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有极其重要的地位。制膜方法可以...

  • 江西脉冲磁控溅射工艺 发布时间:2022.12.30

    PVD技术特征:过滤阴极弧:过滤阴极电弧配有高效的电磁过滤系统,可将弧源产生的等离子体中的宏观大颗粒过滤掉,因此制备的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蚀性能好,与机体的结合力很强。离子束:离子束加工是...

  • 湖北半导体器件加工步骤 发布时间:2022.12.29

    单晶硅,作为IC、LSI的电子材料,用于微小机械部件的材料,也就是说,作为结构材料的新用途已经开发出来了。其理由是,除了单晶SI或机械性强之外,还在于通过利用只可用于单晶的晶体取向的各向异性烯酸,精密...

  • 山西双靶磁控溅射过程 发布时间:2022.12.28

    真空磁控溅射的分类:平面磁控溅射:平衡平面溅射是较常用的平面靶磁控溅射,磁力线有闭合回路且与阴极平行,即在阴极表面构成一个正交的电磁场环形区域。等离子体被束缚在靶表面距离靶面大约60cm的区域,通常在...

  • 浙江多层磁控溅射仪器 发布时间:2022.12.27

    磁控溅射靶材镀膜过程中,影响靶材镀膜沉积速率的因素:溅射电压:溅射电压对成膜速率的影响有这样一个规律:电压越高,溅射速率越快,而且这种影响在溅射沉积所需的能量范围内是缓和的、渐进的。在影响溅射系数的因...

  • 湖北磁控溅射分类 发布时间:2022.12.27

    磁控溅射靶材镀膜过程中,影响靶材镀膜沉积速率的因素:溅射电压:溅射电压对成膜速率的影响有这样一个规律:电压越高,溅射速率越快,而且这种影响在溅射沉积所需的能量范围内是缓和的、渐进的。在影响溅射系数的因...

  • 陶瓷靶材磁控溅射仪器 发布时间:2022.12.27

    磁控溅射的种类:用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶,等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体,则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容,这样在绝缘...

  • 湖北光刻加工厂商 发布时间:2022.12.26

    光刻技术是集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2...

  • 潍坊半导体微纳加工 发布时间:2022.12.26

    微纳加工大致可以分为“自上而下”和“自下而上”两类。“自上而下”是从宏观对象出发,以光刻工艺为基础,对材料或原料进行加工,小结果尺寸和精度通常由光刻或刻蚀环节的分辨力决定。“自下而上”技术...

  • 天津微纳加工工艺流程 发布时间:2022.12.26

    微纳加工技术也可分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等方法。机械加工方法包括单晶金刚石刀具的超精密切割、金刚石砂轮和CBN砂轮的超精密磨削和镜面磨削、磨...

  • 南京纳米涂层真空镀膜 发布时间:2022.12.24

    在二极溅射中增加一个平行于靶表面的封闭磁场,借助于靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域来增强电离效率,增加离子密度和能量,从而实现高速率溅射的过程。随着碰撞次数的增加,二次电子的能...

  • 四川半导体器件加工报价 发布时间:2022.12.24

    半导体元器件的制备首先要有较基本的材料——硅晶圆,通过在硅晶圆上制作电路与电子元件(如电晶体、电容体、逻辑闸等),为上述各制程中所需技术较复杂且资金投入较多的过程。由于芯片是高精度的产品,因此对制造环...

  • 光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。分辨率是对光刻工艺加工可以达到的较细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所...

  • 茂名真空镀膜设备 发布时间:2022.12.23

    基片温度对薄膜结构有较大影响,基片温度高,使吸附原子的动能增大,跨越表面势垒的几率增多,容易结晶化,并使薄膜缺陷减少,同时薄膜内应力也会减少,基片温度低,则易形成无定形结构膜。 材料饱和蒸汽压随温度的...

  • 吉林单靶磁控溅射分类 发布时间:2022.12.23

    非平衡磁控溅射的磁场有边缘强,也有中部强,导致溅射靶表面磁场的“非平衡”。磁控溅射靶的非平衡磁场不只有通过改变内外磁体的大小和强度的永磁体获得,也有由两组电磁线圈产生,或采用电磁线圈与永磁体混合结构,...

  • 苏州真空镀膜 发布时间:2022.12.23

    为了获得性能良好的半导体电极Al膜,我们通过优化工艺参数,制备了一系列性能优越的Al薄膜。通过理论计算和性能测试,分析比较了电子束蒸发与磁控溅射两种方法制备Al膜的特点。考虑Al膜的致密性就相当于考虑...

  • 海南智能磁控溅射工艺 发布时间:2022.12.22

    磁控溅射的种类:用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶,等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体,则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容,这样在绝缘...

  • 辽宁反应磁控溅射分类 发布时间:2022.12.22

    平衡磁控溅射即传统的磁控溅射,是在阴极靶材背后放置芯部与外环磁场强度相等或相近的永磁体或电磁线圈,在靶材表面形成与电场方向垂直的磁场。沉积室充入一定量的工作气体,通常为Ar,在高压作用下Ar原了电离成...

  • 深圳脉冲磁控溅射价格 发布时间:2022.12.22

    磁控溅射的优点:(1)基板有低温性。相对于二级溅射和热蒸发来说,磁控溅射加热少。(2)有很高的沉积率。可溅射钨、铝薄膜和反应溅射TiO2、ZrO2薄膜。(3)环保工艺。磁控溅射镀膜法生产效率高,没有环...

  • 东莞微纳加工工厂 发布时间:2022.12.21

    纳秒和飞秒之间,皮秒激光微纳加工应用独具优势!与传统的微纳加工技术相比,激光微纳加工具有如下独特的优点:非接触加工不损坏工具、能量可调、加工方式灵活、可实现柔性加工等。其中全固态皮秒激光具有极窄的脉冲...

  • 安徽半导体器件加工价格 发布时间:2022.12.21

    湿化学蚀刻普遍应用于制造半导体。在制造中,成膜和化学蚀刻的过程交替重复以产生非常小的铝层。根据蚀刻层横截面的几何形状,由于应力局部作用在蚀刻层上构造的层上,经常出现裂纹。因此,通过蚀刻产生具有所需横截...

  • 南充真空镀膜厂家 发布时间:2022.12.21

    真空镀膜:反应磁控溅射法:制备化合物薄膜可以用各种化学气相沉积或物理的气相沉积方法。但目前从工业大规模生产的要求来看,物理的气相沉积中的反应磁控溅射沉积技术具有明显的优势,因而被普遍应用,这是因为:反...

  • 南充纳米涂层真空镀膜 发布时间:2022.12.20

    真空镀膜:技术优点:镀层质量好:离子镀的镀层组织致密、无小孔、无气泡、厚度均匀。甚至棱面和凹槽都可均匀镀复,不致形成金属瘤。象螺纹一类的零件也能镀复,有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和...

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