广东省科学院半导体研究所
真空镀膜微纳加工,作为微纳加工领域的重要技术之一,正以其独特的加工优势,在半导体制造、光学器件及生物医学等领域展现出普遍的应用前景...
半导体器件加工对机械系统的精度要求极高,精密机械系统在半导体器件加工中发挥着至关重要的作用。这些系统包括高精度的切割机、研磨机、抛...
微纳加工器件是指通过微纳加工技术制备的具有微纳尺度结构和功能的器件。这些器件通常具有高精度、高性能及高集成度等优点,在多个领域具有...
电子微纳加工,作为纳米制造领域的一项重要技术,正带领着制造业的微型化和智能化发展。这项技术利用电子束的高能量密度和精确控制性,实现...
随着纳米技术的快速发展,它在半导体器件加工中的应用也变得越来越普遍。纳米技术可以在原子和分子的尺度上操控物质,为半导体器件的制造带...