背景技术: 晶圆的生产与制作属极为精密的加工技术,其通常需借助晶圆传输装置来进行运输传递等作业。例如,准备对晶圆进行刻蚀加工时,需要利用晶圆传输装置将晶舟内的待刻蚀晶圆传输至刻蚀机台内。 ...
可选地,所述托板包括: 主板; 排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一侧与所述主板固定连接; 所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板远离所述主板...
本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。 背景技术: 在半导体加工设备中,经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送,在传送的过程中,传送精度越...
多功能一体化机械臂,包括机械臂主体,所述机械臂主体由设置在该机械臂主体底部的底座、设置在底座顶部的后臂及设置在后臂顶部的前臂构成的,该种多功能一体化机械臂,改进了原有产品的缺点,本实用新型多功能一体化...
(7)堇青石、钛酸铝材料,其特点是热膨胀系数小,因而***用于热冲击环境。添加剂(1)助熔剂陶瓷助熔剂的主要作用是降低烧成温度,增加液相,扩大烧成范围,提高坯体的力学强度和化学稳定性。常用...
耐磨陶瓷片考虑粘接剂受温因素,各部分在选择耐磨陶瓷片的时候也要考虑陶瓷片的外观和粘结方式,做到多重防护。 根据工况环境、受力情况的不同,耐磨陶瓷片的磨损大致可分为切削磨损、疲劳磨损、磨蚀磨损、冲击磨损...
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运...
耐磨防护涂层的施工工艺如下: 一、基材表面处理(对待施工部位进行打磨粗化处理,并清洗干净晾干) 1、将待施工部位表面用电动钢丝刷(或喷砂)进行打磨露出新鲜金属基材,除锈标准达 到Sa2.5级 2、用专...
深圳市德澳美精密制造有限公司工厂生产加工陶瓷手臂已经有7年历史,可以加工各种规格陶瓷手臂,适用于2寸,4寸,6寸,8寸,12寸。根据客户图纸加工,也可以来样加工,**代为设计。加工周期一般为3天。...
输送半导体晶圆的机械手通常具有两个以上的自由度。这种机械手典型地由两个连杆和手部构成。在本说明书中,将两个连杆称作上臂连杆和前臂连杆。典型地,上臂连杆的一端连结于电机的输出轴,上臂连杆的另一端连结于前...
、耐磨陶瓷管道弯头产品特点:耐磨损:采用质量氧化铝刚玉陶瓷,硬度达到HRA85以上,比普通管道耐磨10倍以上;耐高温:可以长期在350℃运行;抗震及热胀冷缩:粘胶热膨胀系数介于钢铁和陶瓷之...