过滤和分离 1.超纯水的制备和除菌 用硅藻土或粘土熟料质制成的多孔陶瓷滤芯,已用于饮水、石油油井注水用水等的除菌和净化,还用于注射液的消毒过滤,以及电子工业、医药工业、光学透镜研磨用的...
有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室(transfer chamber)连结于处理室。机械手...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷...
精密结构陶瓷是一种具有 度、高硬度、耐高温、耐腐蚀等特性的陶瓷材料。它在各种应用场景中发挥着重要作用。首先,精密结构陶瓷在航空航天领域具有广泛的应用。例如,陶瓷刹车片用于飞机和火箭的着陆装置,具有耐高...
耐磨涂层胶泥是特种涂料的一种,是将添加特殊材料(耐磨颗粒)的胶粘剂涂敷于零件表面,以达到修复损伤的零件或使赋予表面特殊功能(耐磨,耐高温,耐腐蚀)的目的的一项工业技术.由于采用了材料聚合原...
隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其**传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的...
晶圆是半导体行业的关键元件,随着半导体行业的迅速发展,晶圆的搬运技术逐渐成为制约行业发展的关键因素。晶圆搬运机械手是IC装备的**之一,其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量,体现着整个加工系...
接下来是单晶硅生长,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下图所示,高纯度的多晶硅放在石英坩埚中,并用外面围绕着的石墨加热器不断加热,温度维持在大约1400 ℃,炉中的气体通常是惰性气体,使多晶硅熔化,同...
耐磨陶瓷片具有耐磨损失小,强度高、形状可控制、整体性强、施工简单、施工性能好,对于有耐磨要求的施工部位起到了很好的保护作用。随着水泥工业新型干法生产,设备大型化的发展,对耐磨陶瓷片提出了新的要求。设备...
耐磨陶瓷内衬.弧形氧化铝耐磨陶瓷衬板具有一定的弧度,主要用于旋流器,也可以根据具体管道直径定做各种规格的弧形衬板,使其完美贴合管道内壁。 随着金矿规模以及选矿装备都开始趋向大型化,入选原矿浆粒度、重介...
一种用于传送晶圆的真空吸附机械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附绝缘凸台;设置在所述手臂和吸附绝缘凸台内的真空气道;所述吸附绝缘凸台呈环形,所述吸附绝缘凸台所围成的空间构成所述真空气道...
近年来全球硅晶圆供给不足,导致8英寸、12英寸硅晶圆订单能见度分别已达2019上半年和年底。目前国内多个硅晶圆项目已经开始筹备,期望有朝一日能够打破进口依赖,并有足够的能力满足市场需求。硅...