在半导体芯片的精密检测领域,微光显微镜与热红外显微镜如同两把功能各异的 “利剑”,各自凭借独特的技术原理与应用优势,在芯片质量管控与失效分析中发挥着不可替代的作用。二者虽同服务于芯片检测,但在逻辑与适用场景上的差异,使其成为互补而非替代的检测组合。从技术原理来看,两者的 “探测语言” 截然不同。
微光显微镜是 “光子的捕捉者”,其重心在于高灵敏度的光子传感器,能够捕捉芯片内部因电性能异常释放的微弱光信号 —— 这些信号可能来自 PN 结漏电时的电子跃迁,或是栅氧击穿瞬间的能量释放,波长多集中在可见光至近红外范围。
支持离线数据分析,可将检测图像导出后进行深入处理,不占用设备的实时检测时间。半导体失效分析微光显微镜厂家电话

OBIRCH与EMMI技术在集成电路失效分析领域中扮演着互补的角色,其主要差异体现在检测原理及应用领域。具体而言,EMMI技术通过光子检测手段来精确定位漏电或发光故障点,而OBIRCH技术则依赖于激光诱导电阻变化来识别短路或阻值异常区域。这两种技术通常被整合于同一检测系统(即PEM系统)中,其中EMMI技术在探测光子发射类缺陷,如漏电流方面表现出色,而OBIRCH技术则对金属层遮蔽下的短路现象具有更高的敏感度。例如,EMMI技术能够有效检测未开封芯片中的失效点,而OBIRCH技术则能有效解决低阻抗(<10 ohm)短路问题。厂家微光显微镜大概价格多少国外微光显微镜价格高昂,常达上千万元,我司国产设备工艺完备,技术成熟,平替性价比高。

可探测到亮点的情况
一、由缺陷导致的亮点结漏电(Junction Leakage)接触毛刺(Contact Spiking)热电子效应(Hot Electrons)闩锁效应(Latch-Up)氧化层漏电(Gate Oxide Defects / Leakage (F-N Current))多晶硅晶须(Poly-silicon Filaments)衬底损伤(Substrate Damage)物理损伤(Mechanical Damage)等。
二、器件本身固有的亮点饱和 / 有源状态的双极晶体管(Saturated/Active Bipolar Transistors)饱和状态的 MOS 管 / 动态 CMOS(Saturated MOS/Dynamic CMOS)正向偏置二极管 / 反向偏置二极管(击穿状态)(Forward Biased Diodes / Reverse Biased Diodes (Breakdown))等。
挑选适配自身的微光显微镜 EMMI,关键在于明确需求、考量性能与评估预算。先梳理应用场景,若聚焦半导体失效分析,需关注能否定位漏电结、闩锁效应等缺陷产生的光子;性能层面,探测器是主要考察对象,像 -80℃制冷型 InGaAs 探测器,灵敏度高、波长检测范围广(900 - 1700nm),能捕捉更微弱信号;物镜分辨率也重要,高分辨率物镜可清晰呈现微小失效点。操作便捷性也不容忽视,软件界面友好、具备自动聚焦等功能,能提升工作效率。预算方面,进口设备价格高昂,国产设备性价比优势凸显,如部分国产品牌虽价格低 30% 以上,但性能与进口相当,还能提供及时售后。总之,综合这些因素,多对比不同品牌、型号设备,才能选到契合自身的 EMMI 。晶体管和二极管短路或漏电时,微光显微镜依其光子信号判断故障类型与位置,利于排查电路故障。

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