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有哪些HTOL测试机推荐厂家

来源: 发布时间:2022年08月31日

第二时间点读点、第三时间点读点至第n时间点读点。在每个时间点读点过程为:将闪存参考单元的输出电流iref与闪存阵列单元的输出电流i的差值经由读出放大器进行比对判断,若iref<i,则闪存读出“1”;若iref>i,则闪存读出“0”。具体的,在闪存(例如norflash)产品htol可靠性验证的阶段的测试流程例如依次为:初始(***时间点)读点、48小时(第二时间点)读点、168小时(第三时间点)读点、500小时(第四时间点)读点、1000小时(第n时间点)读点。本发明实施例的闪存参考单元未经过编译和擦除循环而直接进行htol测试时,发现闪存htol可靠性验证在48小时(hrs)读点失效。集成电路动态老化设备,上海顶策科技有限公司自主研发TH801智能一体化HTOL测试机。有哪些HTOL测试机推荐厂家

包括:将所述源极101和漏极102均悬空,在所述控制栅106上施加***擦除电压vc1,在所述衬底100上施加第二擦除电压vc2;其中,所述***擦除电压vc1为负电压,所述第二擦除电压vc2为正电压。所述***擦除电压vc1的范围为-10v~-8v,本实施例中例如为-9v;所述第二擦除电压vc2的范围为8v~10v,本实施例中例如为9v;擦除过程中的脉冲宽度为10ms~20ms。本实施例中,闪存参考单元的擦除原理是基于fowler-nordheim隧穿(简称为fn隧穿),通过在衬底100上施加正电压,在控制栅106上施加负电压,以在隧穿氧化层103中注入空穴,同时减少浮栅104中的电子。有哪些HTOL测试机推荐厂家TH801智能老化系统,全程HTOL数据记录,让质量报告更有说服力,下游客户更放心。

一种闪存htol测试方法,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行htol测试,所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失,以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。具体的,待测闪存在同一闪存芯片(die)中的不同区域分布有闪存参考单元和闪存阵列单元,闪存阵列单元用于存储数据,闪存参考单元用于提供参考阈值电压以区分闪存阵列单元的状态。提供的待测闪存在其生产工艺过程中易在闪存参考单元中捕获。引入)空穴,所述空穴在htol测试过程中存在丢失。图2为本发明实施例的闪存参考单元的结构示意图,

发明人检查失效的原因,发现读点失效为读“0”失效,并且进一步研究发现闪存参考单元的输出电流iref在48小时的测试值iref1与在初始的测试值iref0之间有偏移,具体偏移量经测试统计在4μa以内,而且iref1<iref0,即48小时后iref往电流变小的方向偏移。闪存测试中,若iref>i,则读出“0”(即闪存读“0”操作时,iref>i)。闪存判断读“0”的具体操作过程为:将闪存参考单元的输出电流iref与闪存阵列单元的输出电流i的差值经由读出放大器进行比对判断。当差值变弱到由读出放大器无法进行识别时,读“0”失效。当htol可靠性验证经过***时间点例如48小时后,由于闪存参考单元的输出电流iref往电流变小的方向偏移即iref变小,如此一来,闪存参考单元的输出电流iref与闪存阵列单元的输出电流i的差值变小,超出读出放大器识别范围,于是读“0”失效。测试发现经48小时闪存参考单元的输出电流iref往电流变小的方向偏移后,进一步做htol测试,闪存参考单元的输出电流iref在第三时间点例如168小时,第四时间点例如500小时,第五时间点例如1000小时测试均不会进一步偏移。上海顶策科技有限公司可靠性测试服务,涵盖原理图设计,PCBlayout加工制作,老化程序开发调试。

    技术实现要素:本发明提供了一种闪存htol测试方法,以解决闪存htol测试中读点失效的问题。本发明提供的闪存htol测试方法,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行htol测试,所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失,以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。进一步的,所述闪存参考单元包括衬底、位于所述衬底中的导电沟道、位于所述导电沟道两侧的源极和漏极,位于所述导电沟道上方的栅极单元,所述栅极单元从下到上依次包括隧穿氧化层、浮栅、栅间介质层以及控制栅,所述栅极单元的两侧分布有侧墙。 上海顶策科技智能HTOL系统,实时监测并记录环境温度,以及每颗芯片电压,电流,频率,寄存器状态等数据。有哪些HTOL测试机推荐厂家

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