工业金相显微镜是一种高倍、高分辨率、多用于材料微观结构与截面分析的精密光学仪器,具备明场、暗场、偏振光、微分干涉等多种观察模式,能够呈现微米甚至亚微米级的微观结构。在半导体行业中,金相显微镜主要用于芯...
半导体前道工艺波动易产生光刻偏移、线宽异常、蚀刻不足 / 过蚀、残留、凹陷、碟形坑、颗粒等缺陷,金相显微镜是 FA 实验室用于工艺缺陷快速筛查与结构确认的重要仪器。在光刻异常分析中,可观察图形失真、线...
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