在微电子、半导体以及材料研究等高精度领域,温度始终是影响器件性能与寿命的重要因素。随着芯片工艺向高密度和高功率方向发展,器件内部的热行为愈发复杂。传统的热测试方法由于依赖接触探测,往往在空间分辨率、灵敏度和操作便捷性方面存在局限,难以满足对新型芯片与功率器件的精细化热分析需求。相比之下,热红外显微镜凭借非接触测量、高分辨率成像和高灵敏度探测等优势,为研究人员提供了更加直观的解决方案。它不仅能够实时呈现器件在工作状态下的温度分布,还可识别局部热点,帮助分析电路设计缺陷、电流集中及材料老化等潜在问题。作为现代失效分析与微热检测的重要工具,热红外显微镜正逐渐成为科研与产业应用中不可或缺的手段,为提升器件可靠性和延长使用寿命提供了有力支持。热红外显微镜成像仪通过将热红外信号转化为可视化图像,直观呈现样品的温度分布差异。厂家热红外显微镜订制价格

致晟光电研发的热红外显微镜配置了性能优异的InSb(铟锑)探测器,能够在中波红外波段(3–5 μm)有效捕捉热辐射信号。该材料在光电转换方面表现突出,同时具备极低的本征噪声。
在制冷条件下,探测器实现了纳瓦级的热灵敏度,并具备20mK以内的温度分辨能力,非常适合高精度、非接触式的热成像测量需求。通过应用于显微级热红外检测系统,该探测器能够提升空间分辨率,达到微米级别,并保持良好的温度响应线性,从而为半导体器件及微电子系统中的局部发热、热量扩散与瞬态热现象提供细致表征。与此同时,致晟光电在光学与热控方面的自主设计也发挥了重要作用。
高数值孔径的光学系统与稳定的热控平台相结合,使InSb探测器能够在多物理场耦合的复杂环境中实现高时空分辨的热场成像,为电子器件失效机理研究、电热效应分析及新型材料热学性能测试提供了可靠的工具与支持。 科研用热红外显微镜故障维修失效分析已成为贯穿产业链从研发设计到量产交付全程的 “关键防线”。

作为国内少数掌握 Thermal EMMI 技术并实现量产的企业之一,致晟光电在设备国产化和产业落地方面取得了双重突破。设备在光路设计、探测器匹配、样品平台稳定性等关键环节均采用自主方案,确保整机性能稳定且易于维护。更重要的是,致晟光电深度参与国内封测厂、晶圆厂及科研机构的失效分析项目,将 Thermal EMMI 不仅用于研发验证,还延伸至生产线质量监控和来料检测。这种从实验室走向产线的转变,意味着 Thermal EMMI 不再只是少数工程师的“显微镜”,而是成为支撑国产半导体产业质量提升的重要装备。通过持续优化算法、提升检测效率,致晟光电正推动 Thermal EMMI 技术在国内形成成熟的应用生态,为本土芯片制造保驾护航。
当电子器件出现失效时,如何快速、准确地定位问题成为工程师**为关注的任务。传统电学测试手段只能给出整体异常信息,却难以明确指出具体的故障位置。热红外显微镜通过捕捉器件在异常工作状态下的局部发热信号,能够直接显示出电路中的热点区域。无论是短路、击穿,还是焊点虚接引发的热异常,都能在热红外显微镜下得到清晰呈现。这种可视化手段不仅提高了故障定位的效率,还降低了依赖破坏性剖片和反复实验的需求,***节省了时间与成本。在失效分析闭环中,热红外显微镜已经成为必不可少的**工具,它帮助工程师快速锁定问题根源,为后续的修复与工艺优化提供科学依据,推动了整个电子产业质量控制体系的完善热红外显微镜范围:空间分辨率可达微米级,能观测样品微小区域(如 1μm×1μm)的热辐射变化。

红外线介于可见光和微波之间,波长范围0.76~1000μm。凡是高于jd零度(0 K,即-273.15℃)的物质都可以产生红外线,也叫黑体辐射。
由于红外肉眼不可见,要察觉这种辐射的存在并测量其强弱离不开红外探测器。1800年英国天文学家威廉·赫胥尔发现了红外线,随着后续对红外技术的不断研究以及半导体技术的发展,红外探测器得到了迅猛的发展,先后出现了硫化铅(PbS)、碲化铅(PbTe)、锑化铟(InSb)、碲镉汞(HgCdTe,简称MCT)、铟镓砷(InGaAs)、量子阱(QWIP)、二类超晶格(type-II superlattice,简称T2SL)、量子级联(QCD)等不同材料红外探测器等 半导体芯片失效分析(EFA)中的热点定位。热红外显微镜测试
它采用 锁相放大(Lock-in)技术 来提取周期性施加电信号后伴随热信号的微弱变化。厂家热红外显微镜订制价格
RTTLITP20热红外显微镜通过多元化的光学物镜配置,构建起从宏观到纳米级的全尺度热分析能力,灵活适配多样化的检测需求。Micro广角镜头可快速覆盖整块电路板、大型模组等大尺寸样品,直观呈现整体热分布与散热趋势,助力高效完成初步筛查;0.13~0.3X变焦镜头支持连续倍率调节,适用于芯片封装体、传感器阵列等中尺度器件,兼顾整体热场和局部细节;0.65X~0.75X变焦镜头进一步提升分辨率,清晰解析芯片内部功能单元的热交互过程,精细定位封装中的散热瓶颈;3X~4X变焦镜头可深入微米级结构,解析晶体管阵列、引线键合点等细节部位的热行为;8X~13X变焦镜头则聚焦纳米尺度,捕捉短路点、漏电流区域等极其微弱的热信号,满足先进制程下的高精度失效定位需求。厂家热红外显微镜订制价格