作为国内半导体失效分析设备领域的原厂,苏州致晟光电科技有限公司(简称“致晟光电”)专注于ThermalEMMI系统的研发与制造。与传统热红外显微镜相比,ThermalEMMI的主要差异在于其功能定位:它并非对温度分布进行基础测量,而是通过精确捕捉芯片工作时因电流异常产生的微弱红外辐射,直接实现对漏电、短路、静电击穿等电学缺陷的定位。该设备的重要技术优势体现在超高灵敏度与微米级分辨率上:不仅能识别纳瓦级功耗所产生的局部热热点,还能确保缺陷定位的精细度,为半导体芯片的研发优化与量产阶段的品质控制,提供了可靠的技术依据与数据支撑。热红外显微镜仪器内置校准系统,定期校准可确保长期使用中微观温度测量结果的准确性。实时成像热红外显微镜价格

红外线介于可见光和微波之间,波长范围0.76~1000μm。凡是高于jd零度(0 K,即-273.15℃)的物质都可以产生红外线,也叫黑体辐射。
由于红外肉眼不可见,要察觉这种辐射的存在并测量其强弱离不开红外探测器。1800年英国天文学家威廉·赫胥尔发现了红外线,随着后续对红外技术的不断研究以及半导体技术的发展,红外探测器得到了迅猛的发展,先后出现了硫化铅(PbS)、碲化铅(PbTe)、锑化铟(InSb)、碲镉汞(HgCdTe,简称MCT)、铟镓砷(InGaAs)、量子阱(QWIP)、二类超晶格(type-II superlattice,简称T2SL)、量子级联(QCD)等不同材料红外探测器等 高分辨率热红外显微镜探测器针对消费电子芯片,Thermal EMMI 助力排查因封装散热不良导致的局部热失效问题。

热点区域对应高温部位,可能是发热源或故障点;等温线连接温度相同点,能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制,普遍存在热点分散、噪点多的问题,导致发热区域定位不准,图像对比度和清晰度下降,影响温度分布判断的准确性。而致晟设备优势是设备抗干扰能力强,可有效减少外界环境及内部器件噪声影响,保障图像稳定可靠;等温线明显,能清晰展现温度相同区域,便于快速掌握温度梯度与热传导情况,提升热特性分析精度,同时成像效果大幅提升,具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度,可清晰呈现细微细节,为分析提供高质量的图像支持。
在半导体 IC 裸芯片研究与检测中,热红外显微镜是一项重要工具。裸芯片结构紧凑、集成度高,即便出现轻微热异常,也可能影响性能甚至导致失效,因此有效的热检测十分必要。热红外显微镜以非接触方式完成热分布成像,能够直观呈现芯片在运行中的温度变化。通过对局部热点的识别,可发现电路设计缺陷、电流集中或器件老化等问题,帮助工程师在早期阶段进行调整与优化。此外,该设备还能测量半导体结点的结温,结温水平直接关系到器件的稳定性与寿命。依托较高分辨率的成像能力,热红外显微镜既能提供结温的准确数据,也为散热方案的制定和芯片性能提升提供了可靠依据。致晟光电是一家国产失效分析设备制造商,其在、有两项技术:Thermal 热红外显微镜 和 EMMI 微光显微镜。

在半导体芯片的失效分析和可靠性研究中,温度分布往往是**关键的参考参数之一。由于芯片结构高度集成,任何局部的异常发热都可能导致电性能下降,甚至出现器件击穿等严重问题。传统的接触式测温方法无法满足高分辨率与非破坏性检测的需求,而热红外显微镜凭借其非接触、实时成像的优势,为工程师提供了精细的解决方案。通过捕捉芯片表面微小的红外辐射信号,热红外显微镜能够清晰还原器件的热分布情况,直观显示出局部过热、散热不均等问题。尤其在先进制程节点下,热红外显微镜帮助研发团队快速识别潜在失效点,为工艺优化提供可靠依据。这一技术不仅***提升了检测效率,也在保障器件长期稳定性和安全性方面发挥着重要作用。热红外显微镜范围:空间分辨率可达微米级,能观测样品微小区域(如 1μm×1μm)的热辐射变化。高分辨率热红外显微镜探测器
热红外显微镜应用于生物医学领域,可观测细胞代谢产生的微弱热信号,为生命科学研究提供支持。实时成像热红外显微镜价格
在半导体产业加速国产化的浪潮中,致晟光电始终锚定半导体失效分析这一**领域,以技术创新突破进口设备垄断,为国内半导体企业提供高性价比、高适配性的检测解决方案。不同于通用型检测设备,致晟光电的产品研发完全围绕半导体器件的特性展开 —— 针对半导体芯片尺寸微小、缺陷信号微弱、检测环境严苛的特点,其光发射显微镜整合了高性能 InGaAs 近红外探测器、精密显微光学系统与先进信号处理算法,可在芯片通电运行状态下,精细捕捉异常电流产生的微弱热辐射,高效定位从裸芯片到封装器件的各类电学缺陷。实时成像热红外显微镜价格