在半导体失效分析实验室中,工程师们常常面临令人头疼的难题:一块价值百万的芯片突然“歇工”,却迟迟找不到故障根源。传统检测手段轮番上阵——电性测试无从下手,物理开盖又可能破坏关键痕迹,整个分析仿佛陷入迷雾之中。这时,Thermal EMMI(热红外显微镜)如同一位敏锐的“热力神探”登场。它能够捕捉芯片在微观层面发出的极其微弱的热辐射与光信号,毫不干扰样品本体,实现非接触式成像。借助其高灵敏度和高空间分辨率,隐藏在纳米尺度下的异常热点被一一揭示,让“沉默”的芯片重新开口说话,助力工程师快速锁定失效位置,为后续修复与优化提供明确方向。在众多复杂失效场景中,Thermal EMMI已成为不可或缺的利器。
热红外显微镜应用于电子行业,可检测芯片微小区域发热情况,助力故障排查与性能优化。非制冷热红外显微镜24小时服务

随着国内半导体产业的快速发展,Thermal EMMI 技术正逐步从依赖进口转向自主研发。国产 Thermal EMMI 设备不仅在探测灵敏度和分辨率上追平甚至超越部分国际产品,还在适配本土芯片工艺、降低采购和维护成本方面展现出独特优势。例如,一些国产厂商针对国内封测企业的需求,对探测器响应波段、样品台尺寸、自动化控制系统等进行定制化设计,更好地适应大批量失效分析任务。同时,本土研发团队能够快速迭代软件算法,如引入 AI 图像识别进行热点自动标注,减少人工判断误差。这不仅提升了检测效率,也让 Thermal EMMI 从传统的“精密实验室设备”走向生产线质量控制工具,为国产芯片在全球竞争中提供可靠的技术支撑。工业检测热红外显微镜用户体验Thermal Emission microscopy system, Thermal EMMI是一种利用红外热辐射来检测和分析材料表面温度分布的技术。

对于3D封装产品,传统的失效点定位往往需要采用逐层去层的方法,一层一层地进行异常排查与确认,不仅耗时长、人工成本高,还存在对样品造成不可逆损伤的风险。借助Thermal EMMI设备,可通过检测失效点热辐射在传导过程中的相位差,推算出失效点在3D封装结构中的深度位置(Z轴方向)。这一方法能够在不破坏封装的前提下,快速判断失效点所在的芯片层级,实现高效、精细的失效定位。如图7所示,不同深度空间下失效点与相位的关系为该技术提供了直观的参考依据。
ThermalEMMI(热红外显微镜)是一种先进的非破坏性检测技术,广泛应用于电子设备和半导体器件的精细故障定位。它能够在不干扰或破坏被测对象的前提下,捕捉电子元件在工作状态下释放的微弱热辐射和光信号,为工程师提供可靠的故障诊断和性能分析依据。尤其在复杂集成电路、高性能半导体器件以及精密印制电路板(PCB)的检测中,ThermalEMMI能够迅速识别异常发热或发光区域,这些区域通常与潜在缺陷、设计不足或性能问题密切相关。通过对这些热点的精确定位,研发和测试人员可以深入分析失效原因,指导工艺改进或芯片优化,从而提升产品可靠性和稳定性。此外,ThermalEMMI的非接触式测量特点使其能够在芯片研发、量产检测和终端应用过程中实现连续监测,为工程师提供高效、精细的分析工具,加速问题排查和产品优化流程,成为现代电子检测与失效分析的重要技术支撑。热红外显微镜应用于材料科学,可研究新型材料在不同温度下的微观热稳定性,指导材料研发。

热点区域对应高温部位,可能是发热源或故障点;等温线连接温度相同点,能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制,普遍存在热点分散、噪点多的问题,导致发热区域定位不准,图像对比度和清晰度下降,影响温度分布判断的准确性。而致晟设备优势是设备抗干扰能力强,可有效减少外界环境及内部器件噪声影响,保障图像稳定可靠;等温线明显,能清晰展现温度相同区域,便于快速掌握温度梯度与热传导情况,提升热特性分析精度,同时成像效果大幅提升,具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度,可清晰呈现细微细节,为分析提供高质量的图像支持。热红外显微镜范围:探测视场可调节,从几十微米到几毫米,满足微小样品局部与整体热分析需求。Thermo热红外显微镜
Thermal EMMI 通过对比正常与失效器件的热光子图谱,界定热致失效机理。非制冷热红外显微镜24小时服务
在半导体芯片的研发与生产全流程中,失效分析(FailureAnalysis,FA)是保障产品可靠性与性能的重要环节。芯片内部的微小缺陷,如漏电、短路、静电损伤等,通常难以通过常规检测手段识别,但这类缺陷可能导致整个芯片或下游系统失效。为实现对这类微小缺陷的精确定位,苏州致晟光电科技有限公司研发的ThermalEMMI热红外显微镜(业界也称之为热发射显微镜),凭借针对性的技术能力满足了这一需求,目前已成为半导体工程师开展失效分析工作时不可或缺的设备。
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