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镇江百级净化工程设计

来源: 发布时间:2025年10月30日

万级洁净厂房通风空调系统需采用全新风 + 回风组合模式,空气处理过程包括初效过滤(G4)、中效过滤(F8)、表冷 / 加热、加湿 / 除湿,**终通过高效空气过滤器(HEPA,H13)送风,确保洁净区内空气含尘浓度≤3520 粒 /m³(≥0.5μm),换气次数≥25 次 /h。送风方式采用上送下回或上送上回,送风口需选用带扩散板的高效送风口,风口布置均匀,确保洁净区内风速控制在 0.2-0.5m/s,避免气流扰动导致粉尘扩散。回风系统需在地面或墙面设置回风百叶,百叶需配备初效过滤器,防止回风携带大颗粒杂质堵塞风机。此外,空调系统需设置温湿度控制系统,将洁净区温度控制在 22±2℃,相对湿度控制在 45%-65%,并配备压差控制系统,确保洁净区与非洁净区的压差≥10Pa,防止外界污染渗入。节能设计可降低运行成本,高效风机。镇江百级净化工程设计

镇江百级净化工程设计,净化

万级洁净厂房彩钢板墙面拼接需达到 “无缝、密封、平整” 要求,施工时需采用企口式拼接工艺,彩钢板企口深度≥15mm,拼接时需在企口处涂抹密封胶,胶层厚度 3-5mm,确保拼接后无缝隙。墙面垂直拼接处需使用 L 型不锈钢压条固定,压条与彩钢板之间需填充密封胶,避免积尘;水平拼接处需设置排水坡度(≤1%),防止冷凝水堆积。彩钢板与地面、吊顶的交接处需采用圆弧过渡,圆弧半径≥50mm,圆弧件与墙面、地面用密封胶密封,密封胶需连续均匀,无气泡、断胶。拼接完成后,需用气溶胶光度计检测墙面密封性,泄漏率需≤0.01%,确保墙面无粉尘渗入通道。浙江无尘净化工艺排风需经过处理才能排至室外。

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电子行业万级洁净厂房需求是控制微粒与静电,需额外强化防静电与电磁屏蔽设计。地面除采用防静电环氧树脂自流平(表面电阻 10^6-10^9Ω)外,还需在地面下铺设铜箔接地网格,网格间距≤1.5m,确保静电快速消散。墙面优先选用导电型彩钢板,表面涂层添加导电颗粒,接缝处用导电密封胶填充,形成整体导电通路,接地电阻≤10Ω。设备布局需远离电磁干扰源,如变压器、高压线路,敏感设备(如芯片光刻机)周围需设置电磁屏蔽罩,屏蔽效能≥80dB(30MHz-1GHz)。空气净化系统需增设化学过滤器,去除 VOCs(挥发性有机化合物)与酸性气体,确保空气中有害气体浓度≤0.1ppm,避免腐蚀电子元件。此外,洁净区需设置防静电接地监测系统,实时监控接地电阻,超标时自动报警,保障电子元件生产过程中的静电安全。

高效空气过滤器(HEPA)是万级洁净厂房空气净化的主要设备,安装前需对过滤器进行外观检查,确保无破损、变形,且需在洁净区内拆除包装,避免外界污染。过滤器安装采用液槽密封或 gasket 密封方式,液槽密封需在过滤器边框与液槽之间注入专门密封液,密封液需充满液槽,且无气泡;gasket 密封需确保 gasket 与过滤器边框紧密贴合,压缩量控制在 30%-50%。安装完成后需进行检漏测试,采用气溶胶光度计法,将 PAO 气溶胶发生器产生的气溶胶注入高效过滤器上游,用光度计在下游扫描检测,泄漏率需≤0.01%,若发现泄漏点,需重新调整过滤器位置或更换密封件,直至检漏合格。此外,HEPA 过滤器需定期更换,更换周期根据压差监测数据确定,当过滤器压差超过初始压差的 2 倍时,需及时更换。灯具布置需满足作业面照度要求。

镇江百级净化工程设计,净化

万级洁净厂房需通过压差控制防止空气逆流,确保洁净区空气流向从高洁净度区域流向低洁净度区域,洁净区与非洁净区的压差≥10Pa,不同洁净级别的区域之间压差≥5Pa。压差控制系统采用定风量阀或变风量阀,通过调节送风量与回风量来维持压差稳定,同时需在洁净区关键位置设置压差传感器,如洁净区与走廊、走廊与室外的交接处,传感器精度≤±1Pa,实时监测压差变化,并将数据传输至控制系统。当压差偏离设定值时,系统需自动报警,并调节阀门开度,恢复正常压差。此外,需定期对压差控制系统进行校准,校准周期≤6 个月,确保压差监测数据准确可靠,避免因压差失控导致洁净度下降。纯水、气体管道材质需高等级不锈钢。江苏百级净化

送风天花覆盖率高,保证气流均匀垂直。镇江百级净化工程设计

十万级净化车间通风管道管径需根据风量与风速合理选型,主风管风速控制在 6-8m/s,支风管风速控制在 4-6m/s,避免风速过高产生气流噪声或过低导致粉尘沉积。管径计算需采用 “流速法”,如某支风管需输送风量 1000m³/h,选定风速 5m/s,则管径(圆形)可通过公式 D=√(4Q/(πv×3600)) 计算得约 189mm,实际选用 DN200 钢管以预留余量。同时,需通过水力平衡计算优化管道阻力,主风管与支风管的阻力差需≤10%,可通过设置静压箱、调节风阀实现平衡,避免部分风口风量不足或过量,确保各区域洁净度均匀。镇江百级净化工程设计

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