芯片用锁相红外热成像系统性价比

锁相红外技术凭借独特的技术设计，兼具高信噪比、深度分辨与微弱信号检测三大优势，同时在关键参数应用上具备灵活适配性：其通过保留与激励同频的有效信号，能高效滤除背景辐射、相机噪声等环境干扰，确保检测信号纯净度；针对不同深度缺陷，可利用热波相位延迟差异，通过相位差分析实现亚表面缺陷的定位，突破传统热成像的表层检测局限；还能捕捉传统热成像难以识别的微小温度变化，比如微电子器件中虚焊产生的微弱热信号，满足精细检测需求。在关键参数上，频率选择可按需调整，低频激励适用于探测深层缺陷，高频激励则适配表面或浅层缺陷检测；且相位图像相比幅值图像，更能清晰反映器件内部结构差异，为各类检测场景提供良好的技术支撑。

电激励与锁相热成像系统结合，实现无损检测。芯片用锁相红外热成像系统性价比

第二项局限性是 “检测速度相对较慢”：为了确保检测精度，锁相红外技术需要采集多个周期的温度图像进行积分分析 —— 只有通过多周期数据的积累与处理，才能有效提取微弱的缺陷信号，滤除噪声干扰，这导致它的检测效率远低于传统静态热成像技术。例如在大规模 PCB 电路板批量检测中，传统热成像可快速完成单块板的测温，而锁相红外技术则需要数分钟甚至更长时间才能完成一次精细检测，难以满足高速量产线的效率需求。不过，这些局限性并未削弱锁相红外技术的**价值：在对检测精度、缺陷识别深度有高要求的场景中，它的优势远大于局限。红外光谱锁相红外热成像系统与光学显微镜对比电激励模式多样，适配锁相热成像系统不同需求。

锁相红外的一个重要特点是可通过调节激励频率来控制检测深度。当调制频率较高时，热波传播距离较短，适合观测表层缺陷；而低频激励则可使热波传得更深，从而检测到埋藏在内部的结构异常。工程师可以通过多频扫描获取不同深度的热图像，并利用相位信息进行三维缺陷定位。这种能力对于复杂封装、多层互连以及厚基板器件的分析尤为重要，因为它能够在不破坏样品的情况下获取深层结构信息。结合自动化频率扫描和数据处理，LIT 不仅能定位缺陷，还能为后续的物理剖片提供深度坐标，大幅减少样品切割的盲目性和风险。

锁相红外热成像系统仪器作为实现精细热检测的硬件基础，其重要构成部件经过严格选型与集成设计。其中，红外探测器采用制冷型碲镉汞（MCT）或非制冷型微测辐射热计，前者在中长波红外波段具备更高的探测率，适用于高精度检测场景；锁相放大器作为信号处理重要，能从强噪声背景中提取纳伏级的微弱热信号；信号发生器则负责输出稳定的周期性激励信号，为目标加热提供可控能量源。此外，仪器还配备光学镜头、数据采集卡及嵌入式控制模块，光学镜头采用大孔径设计以提升红外光通量，数据采集卡支持高速同步采样，确保热信号与激励信号的时序匹配。整套仪器通过模块化组装，既保证了高灵敏度热检测能力，可捕捉 0.01℃的微小温度变化，又具备良好的便携性，适配实验室固定检测与现场移动检测等多种场景。利用锁相放大器或相关算法，将热像序列中每个像素的温度信号与激励参考信号进行相关运算得到振幅与相位。

热红外显微镜是半导体失效分析与缺陷定位的三大主流手段之一（EMMI、THERMAL、OBIRCH），通过捕捉故障点产生的异常热辐射，实现精细定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表现为局部功耗异常，导致微区温度升高。显微热分布测试系统结合热点锁定技术，能够高效识别这些区域。热点锁定是一种动态红外热成像方法，通过调节电压提升分辨率与灵敏度，并借助算法优化信噪比。在集成电路（IC）分析中，该技术广泛应用于定位短路、ESD损伤、缺陷晶体管、二极管失效及闩锁问题等关键故障。红外热成像模块功能是实时采集被测物体表面的红外辐射信号，转化为随时间变化的温度分布图像序列。科研用锁相红外热成像系统规格尺寸

锁相热成像系统放大电激励下的微小温度差异。芯片用锁相红外热成像系统性价比

从技术实现角度来看,致晟光电独有的锁相红外热成像系统的核心竞争力源于多模块的深度协同设计：其搭载的高性能近红外探测器（如 InGaAs 材料器件）可实现 900-1700nm 波段的高灵敏度响应，配合精密显微光学系统（包含高数值孔径物镜与电动调焦组件），能将空间分辨率提升至微米级，确保对芯片局部区域的精细观测。系统内置的先进信号处理算法则通过锁相放大、噪声抑制等技术，将微弱热辐射信号从背景噪声中有效提取，信噪比提升可达 1000 倍以上。
芯片用锁相红外热成像系统性价比