不同于单一技术的应用,致晟光电将锁相红外、热红外显微镜与InGaAs微光显微镜进行了深度融合,打造出全链路的检测体系。锁相红外擅长发现极其微弱的热缺陷,热红外显微镜则能够在更大范围内呈现器件的热分布,而InGaAs微光显微镜可提供光学通道,实现对样品结构的直观观察。三者结合后,研究人员能够在同一平台上实现“光学观察—热学定位—电学激励”的分析,提升了失效诊断的效率与准确性。对于半导体设计公司和科研机构而言,这不仅意味着测试效率的提升,也表示着从研发到量产的过渡过程更加稳健可控。致晟光电的方案,正在成为众多先进制造企业实现可靠性保障的关键工具。致晟光电锁相红外系统助力半导体检测智能化。半导体失效分析锁相红外热成像系统厂家电话

锁相红外热成像系统的工作原理基于锁相放大技术,这一技术的本质是通过提取与参考信号同频同相的红外信号,滤除无关干扰,实现对微弱目标信号的精细检测。系统工作时,首先由信号发生器生成固定频率、相位的参考信号,该信号与目标红外辐射的调制频率保持一致。随后,红外探测器采集目标辐射信号,这些信号中包含目标信号与环境干扰信号。系统将采集到的混合信号与参考信号输入锁相放大器,锁相放大器通过相位敏感检测器,保留与参考信号频率、相位相同的目标信号,将其他频率、相位的干扰信号抑制。这一过程如同 “信号筛选器”,能从复杂的干扰环境中提取出微弱的目标信号。例如在环境噪声较大的工业车间,传统红外成像系统受电机振动、气流扰动等干扰,难以捕捉设备微小过热信号,而锁相红外热成像系统通过锁相放大原理,可将干扰信号抑制 1000 倍以上,精细提取目标信号。热发射显微镜锁相红外热成像系统平台锁相红外可实时监测器件工作时的热分布,及时发现设计或工艺导致的热隐患,缩短研发周期、提升产品良率。

非制冷红外相机主要参数:探测波段覆盖8-14微米,探测器材质多为氧化钒或非晶硅,无需依赖制冷设备,可在室温环境下稳定工作;主要优势:成本与寿命更具优势:整机采购成本较低,且连续开机使用寿命长(超过5年),运行过程无噪音,维护便捷性高;锁相模式性能突出:虽常规高分辨率约为10微米,但切换至锁相模式后,温度分辨能力可突破至<1mK,能精确识别微弱热辐射;半导体场景适配性强:在半导体工业中,可高效探测电路板线路、大功率元器件的漏电问题,为失效分析提供清晰的热信号依据。
具体工作流程中,当芯片处于通电工作状态时,漏电、短路等异常电流会引发局部焦耳热效应,产生皮瓦级至纳瓦级的极微弱红外辐射。这些信号经 InGaAs 探测器转换为电信号后,通过显微光学系统完成成像,再经算法处理生成包含温度梯度与空间分布的高精度热图谱。相较于普通红外热像仪,Thermal EMMI 的技术优势体现在双重维度:一方面,其热灵敏度可低至 0.1mK,能捕捉传统设备无法识别的微小热信号;另一方面,通过光学系统与算法的协同优化,定位精度突破至亚微米级,可将缺陷精确锁定至单个晶体管乃至栅极、互联线等更细微的结构单元,为半导体失效分析提供了前所未有的技术支撑。高灵敏度:可检测微瓦级别热功率变化;

尤其在先进制程芯片研发过程中,锁相红外热成像系统能够解析瞬态热行为和局部功耗分布,为优化电路布局、改善散热方案提供科学依据。此外,该系统还可用于可靠性评估和失效分析,通过对不同环境和工况下器件的热响应进行分析,为量产工艺改进及产品稳定性提升提供数据支撑。凭借高灵敏度、高空间分辨率和可靠的信号提取能力,锁相红外热成像系统已经成为半导体研发与失效分析中不可或缺的技术手段,为工程师实现精细化热管理和产品优化提供了有力保障。电激励与锁相热成像系统,推动无损检测发展。实时成像锁相红外热成像系统大全
快速定位相比其他检测技术,锁相热成像技术能够在短时间内快速定位热点,缩短失效分析时间。半导体失效分析锁相红外热成像系统厂家电话
相比传统热成像设备,锁相红外热成像系统凭借其锁相调制与相位解调技术,提升了信噪比和温差灵敏度,能够在极低温差环境下捕捉微弱的热信号。其高对比度的成像能力确保了热异常区域清晰显现,即使是尺寸为微米级的热缺陷也能被准确定位。系统配备高性能的中波红外探测器和高数值孔径光学镜头,兼顾高空间分辨率和宽动态范围,适应不同复杂结构和应用场景。强大的时空分辨能力使得动态热过程、热点迁移及瞬态热响应都能被实时监测,极大提高了热诊断的准确性和效率,为电子产品的研发与质量控制提供坚实保障半导体失效分析锁相红外热成像系统厂家电话